新型肖特基场发射扫描电镜SU7000

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000－可获得样品的各种信息，实现高通量分析－

新型肖特基场发射扫描电镜SU7000，它缩短了通过采集多种信号获取样品多种信息的时间，真正实现了高通量的观察与分析。

 
    扫描电子显微镜（SEM）可通过检测样品激发出的二次电子、背散射电子、X射线等信号，获得从微细结构到组成成分等各种信息，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生物、材料等诸多领域。随着SEM的应用范围在不断扩大，对观察时间的缩短、信号的迅速高效采集提出了更进一步的需求。
   SU7000采用全新设计的探测器，使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据获得的信号来调整样品与透镜之间的距离（工作距离／以下简称WD），以设置佳的观察与分析条件，而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统，可在不改变WD的条件下更高效地接收各种信号，缩短了样品观察和分析的时间，提高了测试效率。
    而且，SU7000还配置了可同时6通道显示界面（前代机型只能同时显示4通道），进一步升级SEM控制系统，大幅提高了信号获取速度，由此实现了样品的高通量观察。
    它还标配超大样品仓，增设了附件接口，可适用于各种样品的观察与分析。
日立*将在8月5日（星期日）～8月9日（星期四）在美国马里兰州举办的“Microscopy & Microanalysis”及9月5日（星期三）～9月7日（星期五）在幕张展示中心（千叶县千叶市）举办的“JASIS 2018”上展示这款SU7000，预计每年销量有望达150台。
    日立*科学系统事业部以2020年成为电子显微镜行业为中期战略目标，今后仍将全力推动产品研发与市场推广，努力为制造业作出更大的贡献。作为*、前沿的事业创新型企业，今后以成为提供*和解决方案的企业为目标，始终站在客户的立场，快速满足客户和市场需求。

【主要特点】
1．在相同WD的条件下，可同时实现二次电子、背散射电子观察与X射线分析
2．多可同时实现6通道检测与显示
3．在大像素10,240 x 7,680时，也可获得图像数据
4．同级别*设备中多的可配置18个附件接口
5．支持低300Pa的低真空模式（选配）
*空间分辨率在1 nm/1 kV以下