FR-Scanner 自动化超高速精准薄膜厚度测量仪

                             厂家正式*代理商：岱美有限公司

ThetaMetrisis是一家私有公司，成立于2008年12月，位于希腊雅典，是NCSR'Demokritos'的微电子研究所的shou家衍生公司。ThetaMetrisis的核心技术是白光反射光谱（WLRS），它可以在几埃到几毫米的超宽范围内，准确而同时地测量堆叠的薄膜和厚膜的厚度和折射率。

                                               FR-Scanner—— 自动化超高速精准薄膜厚度测量仪

一、产品简介：

       FR-Scanner——自动化超高速精准薄膜厚度测量仪 是一种紧凑的台式工具，适用于自动测绘晶圆片上的涂层厚度。FR-Scanner 可以快速和准确测量薄膜特性:厚度，折射率，均匀性，颜色等。真空吸盘可应用于任何直径或其他形状的样片。

       *的光学模块可容纳所有光学部件:分光计、复合光源(寿命10000小时)、高精度反射探头。因此，在准确性、重现性和*稳定性方面保证了优异的性能。FR-Scanner 通过高速旋转平台和光学探头直线移动扫描晶圆片(极坐标扫描)。通过这种方法，可以在很短的时间内记录具有高重复性的精确反射率数据，这使得FR-Scanner 成为测绘晶圆涂层或其他基片涂层的理想工具。
测量 8” 样片 625 点数据<60 秒.

自动化超高速精准薄膜厚度测量仪

 

二、应用领域

o      弯曲基材（衬底）上的硬/软涂层

o      聚合物涂层、粘合剂等

o      生物医学（ parylene—— 派瑞林,气泡壁厚,等等 )

o     半导体生产制造：(光刻胶, 电介质,光子多层结构， poly-Si,Si, DLC )
o      光伏产业
o      液晶显示
o      光学薄膜
o      聚合物
o      微机电系统和微光机电系统
o      基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明

三、产品特点
o 单点分析(无需预设值）
o 动态快速测量
o 包括光学参数(n和k，颜色)
o 为演示保存视频
o 600 多种的预存材料
o 离线分析
o 免费软件更新 

四、技术参数

FR-Scanner——自动化超高速精准薄膜厚度测量仪

五、工作原理

白光反射光谱（WLRS）测量方法是在一定波长范围内，分析垂直于样品表面的入射光和从单层或多层堆叠薄膜反射的反射光谱的分析方法。

由界面&表面产生的反射光谱被用于确定独立和附着于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆叠膜层的厚度、光学常数（n&k）等。

岱美有限公司（下面简称岱美）成立于1989年，是一间拥有多年经验的性高科技设备分销商，主要为半导体、MEMs、光通讯、数据存储、高校及研发中心提供各类测量设备、工序设备以及相应的技术支持，并与一些重要的客户建立了*合作的关系。

自1989年创立至今，岱美的产品以及各类服务、解决方案广泛地运用于中国大陆、香港、中国台湾、新加坡、泰国、马来西亚、菲律宾等地区。
主要产品包括有：EVG晶圆键合设备、EVG纳米压印设备、EVG紫外光刻机、EVG涂胶显影机、EVG硅片清洗机、EVG超薄晶圆处理设备、压力计、流量计、等离子电源、非接触式光学三坐标测量仪、薄膜厚度检测仪、电容式位移传感器、振动样品磁强计 (VSM)、粗糙度检测仪、电镜 (SEM)、透镜 (TEM)、原子力显微镜 (AFM)、防振台系统、三维原子探针材料分析仪 (Atom Probe)、激光干涉仪、平面／球面大口径动态激光干涉仪、氦质谱检漏仪、紫外线固化仪、碳纳米管生长设备等。
岱美中国拥有八十多名训练有素的工程师，能够为各地区用户作出快捷、可靠的技术支持和维修服务；为确保他们的专业知识得以更新及并适应新的要求，岱美定期委派工程师前往海外接受专项技术训练，务求为顾客提供更高质素的售后服务及技术支持。
总部位于中国香港的岱美分别在新加坡、泰国、中国台湾、马来西亚、菲律宾及中国大陆（上海、东莞及北京）设立了分公司及办事处，以带给客户更快捷更的销售及维修服务。
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