一手供应美国Brooks质量流量控制器GF100C

一手供应美国Brooks质量流量控制器GF100C

PC100 系列金属密封压力控制器压力准确，控制精确，型号 PC115 / PC125，PC100 系列压力控制器和压力表结合大量高性能技术特点，为高要求的半导体、气相沉积和其他超精密制造工艺提供了新的压力控制准确度和可靠性水平。
建立于可靠的 Brooks GF100 质量流量控制器技术之上，PC100 系列*高纯度全金属流路，专门设计的增强传感器技术以消除传感器漂移，以及用户界面和设备诊断能力，可使设备评价和故障排除更容易，产生有限的维修中断和减少停机时间。

高纯流路
Brooks PC100系列具有全金属，耐腐蚀，符合Semi F20的润湿性具有高度耐腐蚀的Hastelloy®C-22阀座和喷嘴的流路。
•整体减小的表面积和未打扫的体积可以在吹扫步骤中更快地干燥
•长期的热或压力传感器和设备稳定性可蕞大化产量和吞吐量
Advanced Advanced Advanced Thermal Flow Measur热流量测量传感器t传感器带有嵌入式流量计的PC125具有专有的高度耐腐蚀性能哈氏合金C-22传感器。增强的传感器制造和过程烧伤结合*的正交传感器安装方向以消除传感器漂移由阀门的热效应引起，并消除热虹吸效应。这个*传感器配置包括针对易燃气体的优化温度曲线热分解。

一手供应美国Brooks质量流量控制器GF100C
此设计导致：
•增强了信噪比性能，以提高低设定点的精度
•通过新型等温包装，在高温下具有出色的重现性
以及带有环境温度感应和补偿功能的车载空调电子设备
•改善长期稳定性
增强的诊断和用户界面
Brooks PC100系列提供在线设备评估和即时
故障排除导致有限的服务中断并减少了停机时间。
•独立的诊断/服务端口
•高可见度LCD显示屏，带有易于操作的按钮，用于本地指示流量
（％），温度（°C），托/压力（PSIA / kPa）和网络地址
•调零按钮可在计划维护期间轻松地将设备调零。零按钮将
零压力传感器或热传感器，具体取决于显示屏上显示的内容。
通讯接口
PC100系列支持DeviceNet™通信协议。 DeviceNet是一个多节点
连接，多可在同一设备上连接64个设备
网络。 Brooks Instrument的DeviceNet配置文件已通过ODVA™（开放
DeviceNet供应商协会）。

特点
响应时间：<1 秒
满量程流速高达 10 slm
传感器压力范围：1000 Torr FS
全金属密封流路：5µ 英寸 Ra 表面抛光
PC125 使用嵌入式流量计，包括与高速 ARM 处理器结合在一起的高耐腐蚀性 Hastelloy® C-22 流量传感器
快速作用无隔膜阀组件
带有易接近按钮的高可视性 LCD 显示屏，用于流量、温度和网络地址本地指示
独立的诊断/维护端口
DeviceNet™ 协议
优势
高性能部件可提供快速响应和设置时间以改进压力控制
减少旁通排气气体消耗以及相关减排成本
遵从 SEMI F20 的全金属耐腐蚀接液流路与整体减少的表面积及未波及体积一起确保在清洗步骤更快干透
长期热或压力传感器设备稳定性蕞大限度提高产量和吞吐量
用于要求缓慢上升压力控制过程的用户可编程启动功能
应用
半导体高级蚀刻工具
薄膜化学气相沉积系统（CVD、MOCVD、PECVD、ALD）
物理气相沉积（PVD）系统

产品特征产品特点
•1-1 / 8“机械平台
•高性能共平面阀
•所有浸湿部件大32 Ra，以保持颗粒，水分和无污染的工艺条件
•全金属密封，高泄漏完整性（小于1x10-10 atm-cc / sec He）
•流量精度为速率（或设定值）的±1％，包括线性度以确保设备精确控制在
期望水平
•数字通信选项使操作简单调试并减少系统接线
•设备可以存储10个可选的校准和流量
范围
•符合CE
模拟量I / O：模拟量I / O：
•15针
•0-5伏设定值和流量信号
•单面+15伏直流电源
•单独的“阀超控”信号
•与布鲁克斯的0254型二次电子设备兼容
DeviceNet DeviceNetTM通信选项：
通信选项：
•易于调试并减少了系统接线
•传感器，阀门，校准，调整，诊断和其他内部功能的可访问性数据，以支持现场快速调试和简化控制器
预防性的维护
•MAC-ID，Baudrate旋转开关和两个双色状态LED-易于设置和寻址以及状态确认
•供应商特定配置文件，ODVA认证
•功能：轮询I / O，循环，状态更改和显式消息传递

安装：
1、选用控制器*使预定设定值位于控制器设定值调节范围的中间部分。一般为调节范围的20[%]~80[%]。
2、控制器要安装在室外时，应给予足够的防护，以免受环境温度的剧烈变化，阳光直接辐射，腐蚀性气体或水的渗入。
3、安装电缆时，应选择合适的电缆外径，并将电缆引入处的压紧的螺母拧紧，以免电缆松动，并防止水或灰尘的渗入。
4、对于有压力峰值及脉冲压力的受控液体介质，可在控制器的接口上安装一个压力冲击阻尼器，以消除不利影响。
5、通断电流不能大于额定值。
6、安装（或拆卸）控制器时要特别注意：
1） 安装（或拆卸）必须用扳手夹持传感器的平面部份，防止传感器和开关壳体发生相对转动。
2） 当传感器接口为内螺纹时，管道接头旋入传感器内深度不可超过12mm。