HR系列 ulvacHR系列爱发科真空泵维修检漏仪维修
- 公司名称 苏州希文控制科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号 HR系列
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2020/3/17 9:16:17
- 访问次数 481
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价格区间 | 80万-100万 | 仪器种类 | 氦质谱检漏仪(进口) |
---|---|---|---|
应用领域 | 医疗卫生,生物产业,地矿,交通,电气 |
干式真空泵
LR / HR / UR系列
ulvacHR系列爱发科真空泵维修检漏仪维修
干式真空泵LR / HR / UR系列通过使用我们*的高温浸泡技术有效地利用压缩热,从而在CVD和蚀刻等坚硬工艺中实现了高耐久性。在轻型过程中,与ECO-SHOCK结合使用,可以将功耗降低约80%。所有型号均兼容CE(可选),以提高可维护性并降低噪音。有关ECO-SHOCK的更多信息,请参阅“相关信息”。
特色功能
- LR系列:
除在低温范围内浸泡惰性气体外,还适用于需要缩短排气时间(特别是为了提高产量)的充放电室中的排气。 - HR系列/ UR系列:高温下
通过CVD 浸泡,蚀刻等产生的可升华排气物质可以气态排放 - 1000毫秒内瞬间停电的对策
- CE兼容(可选)
使用方法
- 活性气体(CVD,干法蚀刻等)
- 惰性气体排放(溅射,沉积,热处理等)
- 减少装卸室的排气时间(LR系列)
- 产生粉末的过程中的排气(拉单晶硅等)
- 作为辅助排气泵(涡轮分子泵的辅助排气,机械增压泵)
规格书
类型名称 | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 300 | LR / HR 600 | UR 600 | LR / HR 1200 | UR 1200 | ||
二手泵 | DRP | LR / HR 60 | LR / HR 90 | LR 180 | LR 421 | LR 421-T | UR 421-T | LR / HR 60 | LR / HR 90 | UR 90 | LR / HR 90 | UR 90 | |
MBP | - | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
大抽速 | m 3 /小时 | 50赫兹 | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
60赫兹 | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
升/分钟 | 50赫兹 | 1030 | 1860年 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
60赫兹 | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
极限压力 | 帕 | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
大排气压力(吸气压力) | 大气压* | ||||||||||||
大出口压力(排出压力) | 1Pa至大气压 | ||||||||||||
入口(CE规格) | VG50 (KF40) | VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
排气口 | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
干泵表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
机械增压泵表面处理 | -- | -- | -- | -- | -- | -- | ○* | ○* | ○ | ○* | ○ | ||
弥撒 | 公斤 | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
电力 | 三相 | 交流电 (Hz) | 200(50/60),220(60) | 180-240 / 380-440(50/60) | 200(50/60),220(60) | ||||||||
现值 | 常规的 | 一 | 6.9 / 7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0 / 7.8 | 12.3 / 12.9 | 16.4 | 13.7 / 15.4 | 18.9 | |
大值 | 一 | 7.0 / 7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6 / 8.1 | 19.0 / 13.8 | 17.3 | 24.2 / 18.9 | 22.4 | ||
冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | 0.1至0.3 | |||||||||
冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | > 0.1 | |||||||||
冷却水流量 | 升/分钟 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | > 5.0 | ||||||||
吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | ||||||||||
二次压力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | |||||||||||
N 2吹扫 | 轴数 | SLM | 5 | ||||||||||
加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 无* 1 | 0-45 | 0-195 | 0-45 |
*订购时请注明工作电压。
*请勿在吸入压力为200Pa或更高的压力下连续操作HR300,HR / UR600和HR / UR1200。泵温度可能会异常,并且互锁装置可能会运行。
*对于LR300,LR600,LR1200,UR600,UR1200,UR1800,UR3601-TT的MBP,可以选择是否进行表面处理。
* JIS法兰是进气口的标准配置。符合CE的NW类型。
* 1可以根据应用估算可以使用气体玫瑰的规格。
类型名称 | LR1800 | UR1800 | LR3601 | LR3601-TT | LR3601-R | LR3601-TR(TTR) | UR3601-TT | |||
二手泵 | DRP | LR180 | UR180 | LR421 | LR421-T | LR421 | LR421-T | UR421-T | ||
MBP | PRC-018A | PRC-036C | PRC-036C(-T) | PRC-036D | PRC-036D(DT) | PRC-036C-T | ||||
大抽速 | m 3 /小时 | 50赫兹 | 1701 | 1701 | 3200 | 2700 | ||||
60赫兹 | 1784年 | |||||||||
升/分钟 | 50赫兹 | 28350 | 28350 | 53333 | 45000 | |||||
60赫兹 | 29700 | |||||||||
极限压力 | 帕 | 0.67 | ||||||||
大排气压力(吸气压力) | 大气压* | |||||||||
大出口压力(排出压力) | 1Pa至大气压 | |||||||||
进口* | VG150(KF100) | VG150 | ||||||||
排气口 | KF40 | KF50 | ||||||||
干泵表面处理 | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | |||
机械增压泵表面处理 | ○* | ○ | × | T:×TT:○ | × | TR:×TTR:○ | ○ | |||
弥撒 | 公斤 | 553 | 660 | 720 | 660 | 720 | 720 | |||
电力 | 三相 | 交流电(Hz) | 200(50/60),220(60) | 180-240 / 380-440(50/60) | ||||||
现值 | 常规的 | 一 | 21.4 | 29.2 | 31 | 35.4 | 39.8 | |||
大值 | 一 | 39.8 | 34.9 | 58.4 | 82 | 68.3 | ||||
冷却水一次压力 | 兆帕 | 0.1至0.3 | 0.2至0.5 | |||||||
冷却水入口/出口压差 | 兆帕 | > 0.1 | > 0.2 | |||||||
冷却水流量 | 升/分钟 | > 5.0 | > 4.0 | > 5.0 | ||||||
吹扫气体 | 一次压力 | 兆帕 | 0.1-0.5 | |||||||
二次压力 | 兆帕 | 0.05-0.1 | ||||||||
N 2吹扫 | 轴数 | SLM | 5 | |||||||
加斯伯勒 | SLM | 0-45 | 0-195 | 无* 1 | 0-45 | 无* 1 | 0-45 | 0-195 |
*订购时请注明工作电压。
*请勿在吸入压力为200Pa或更高的压力下连续操作HR300,HR / UR600和HR / UR1200。泵温度可能会异常,并且互锁装置可能会运行。
*对于LR300,LR600,LR1200,UR600,UR1200,UR1800,UR3601-TT的MBP,可以选择是否进行表面处理。
* JIS法兰是进气口的标准配置。符合CE的NW类型。
* 1可以根据应用估算可以使用气体玫瑰的规格。
■消音器(可选)
型号 | 材质 | 表面处理 | 重量(公斤) | 连接法兰 |
RS-01 | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | NW40 |
RS-02 | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | NW40 |
RS-03 | SUS304 | 抛光板 | 12.5 | NW50 |
■型号兼容性表
套件名称 | 适用机型 | 夹钳 | 外圈 | 连接管道 | 留下来 |
RS-01套件A | LR60,LR90,LR300 | 1个 | 1个 | -- | -- |
RS-01套件B | LR600,LR1200 | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
RS-02套件A | LR180(LR60,LR90,LR300) | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
RS-02套件B | LR1800(LR600,LR1200) | 两个 | 两个 | 1个 | 1个 |
RS-03套件A | LR421(-T) | 1个 | 1个 | 1个 | 1个 |
RS-03套件B | LR3601(-T / TT / R / TR / TTR) | 三 | 三 | 1个 | 1个 |
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