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自动氦气检漏仪（SUPER-ALT）

ALT•S系列

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ALT_S_系列

一种使用氦气作为检测气体的泄漏测试设备。自动氦气泄漏测试仪结合了采用专有技术的新机制，可实现高速处理并进一步节省空间。

特色功能

通过在测试台上使用转台，更换工件的工作时间减少了一半。

氦气填充过程和泄漏测试过程在不同位置同时进行，大大减少了处理时间。

配备有氦检漏仪“Héliot酒店-ZERO”，检查从制品泄漏的氦气在真空排气※可能要被检查

※“在真空排气快速气体分析机构”

高速处理可以节省空间，例如减少测试箱的数量。

腔室数量可以减少到一个，无需移动工作位置，提高了工作效率

通过将设备集成到一个基座（单元）中来缩短现场启动时间

易于维护，因为可以将泵单元从主机中拉出

使用方法

汽车领域：压缩机，汽车空调，机油冷却器，EGR冷却器

空调制冷设备：压缩机，热交换器，膨胀阀

机械（精密）领域：各种阀门，压力表，航空仪表，压力调节开关

规格书

系统灵敏度 10×1.0 -7帕•中号3 / S

箱体尺寸 φ340×H500（45L）

疏散系统 主排气系统 PRC-012A +（EC-803 x 2）

测试系统 氦气检漏仪 零升空

处理能力 40秒/ 1室（机器时间）

效用 电源供应 AC200V20KVA

氦气 0.1-0.9MPa

压缩空气 0.5兆帕

冷却水 0.18M 3 / H（15℃〜30℃）

选件 氦气自动填充机构

氦气充回收机制

氦气混合/收集机制

ñ 2 ·干燥空气的高压发生器

运输系统

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产品类别

溅射设备

CVD设备

真空蒸镀设备

气相沉积聚合设备

灰化设备

蚀刻设备

离子注入机

退火设备

真空炉

收卷装置

冷冻真空干燥机

真空蒸馏设备

氦气泄漏测试设备

其他

按应用分类

半导体工艺（FEOL / BEOL）

半导体工艺（非易失性存储器）

LED装置

动力装置

实作

MEMS器件

光学膜

磁性装置

可充电电池

液晶屏

有机发光二极管

触控面板

展示设备

太阳能电池

磁铁

汽车零件

接线材料

电容器类

包装材料

装饰装修

药

食物

卫生保健

电子材料

功能材料

飞机

动力传动设备

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