P3000 inficon UL5000检漏仪维修

UL5000移动式氦气检漏仪（干式）

inficon UL5000检漏仪维修

ULTRATEST™传感器技术

定义泄漏检测的速度和准确性

INFICON UL5000氦气检漏仪旨在满足关键和苛刻的检漏应用。UL5000在经过现场验证的真空设计中采用了INFICON专有软件算法I-CAL和Hydro-S，可提供测试灵活性，高灵敏度和快速准确的结果，从而使任何泄漏检测应用都变得便捷。

UL5000在所有测量范围内均提供快速响应时间，在达到测试条件和终结果时，循环时间极短。特殊设计的真空架构可提供持续的高氦气抽速和所需的极快响应时间。

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优点

HYDRO-S（氢抑制）可快速达到测试条件。

I-CAL（智能-泄漏率计算算法）可确保快速响应所有测量范围内的泄漏。

一种特殊的多入口涡轮分子泵，可在所有压力下提供优化的高氦抽速和高氦压缩率，以提供出色的灵敏度，响应和快速清理。

增压涡轮分子泵，可对任何测试对象（包括大的容积和大的腔室）做出极快的响应。

经过多年现场验证的INFICON磁性扇形质谱仪可实现*，免维护的多年准确而可重复的结果。

自我保护功能可保护UL5000免受氦气和微粒污染，甚至具有自动吹扫周期，以确保在需要时可以准备好UL5000。

可旋转的显示/控制界面和可选的远程手持控制器，具有操作灵活性。

可以通过该软件启用对单元和系统软件的访问控制，以防止未经*的使用或对测试设置的意外修改。

通过电子邮件进行软件更新，以使您的UL5000保持佳性能。

工作站设计具有佳高度的工作表面，包括ESD垫和工具箱，以方便测试。

典型应用

半导体和平板显示工具上使用的组件，组件和大容器的泄漏测试

半导体和平板工具的泄漏测试

航空航天零部件，组件和系统的泄漏测试

储存容器/储存罐的泄漏测试

技术指标

类型 UL5000氦气检漏仪

小 可检测到的氦气泄漏率（真空模式） 毫巴•升/秒

<5•10 -12

inficon UL5000检漏仪维修

小 可检测到的氦气泄漏率（嗅探器模式） 毫巴•升/秒 8E-8

高 进气压力GROSS模式 毫巴 15

高 进气压力微调模式 毫巴 2

高 进气压力ULTRA模式 毫巴 0.4

疏散时的抽速 立方米/小时 50 Hz时25

氦抽速GROSS模式 升/秒 多8

氦抽速FINE模式 升/秒 多20

氦气抽速ULTRA模式 升/秒 > 20

可检测的质量 2,3,4亩

质谱仪领域 180°摄氏度

长丝离子源铱/氧化钇涂层 2

校准的内置测试泄漏 7号

测试口 DN40KF

可调触发器 2

接口 RS232

图表记录器输出 2 x10伏

输入/输出 兼容PLC

允许的环境温度（运行期间） °C +10 ... + 40

重量 140

尺寸（长x宽x高） 1068x530x1083

电源电压 230（+-10％）50赫兹

能量消耗 VA 1100

UL5000氦气检漏仪

零件号 描述

14005 SL200，用于UL1000 / 5000 / Modul1000的嗅探器探头，长度为4m（需要连接电缆551-205）

14022 遥控器RC1000的延长电缆，长8 m

14090 适用于UL1000 / 5000系列的LeakWare

551-001 氦气瓶架用于UL1000 / 5000

551-010 遥控RC1000C，有线，带4m盘绕电缆

551-015 遥控器RC1000WL，无线，含。无线发射器

551-020 RC1000WL无线发射器

数据表

干氦检漏仪UL5000 | EN | | DE | | ES | |日文| |한국| |中文|

宣传册

UL5000手册 | EN |

RC1000 | EN |

说明书

UL5000操作说明 | ZH | | DE |

UL5000操作说明FR | ZH |

接口说明UL1000 / 5000 | EN |

RC1000操作说明 |中文| | DE |

RC1000使用说明（法语） | EN |

产品目录

LD-Catalog-2019-EN.pdf | EN | | DE | | ES | |日文| |한국| |中文|

影片

使用零功能进行泄漏检测

其它文件

污染声明 | EN | | DE | | ES | |日文| |한국| |中文|