MProbe系列 MProbe系列薄膜测厚仪

MProbe系列薄膜测厚仪是一种非接触式、无损的、精确且快速的光学薄膜厚度测量技术。

　　测量范围: 1 nm - 1 mm

　　波长范围: 200 nm -8000 nm

　　光斑尺寸:2mum -3 um

　　产品特点：

　　a. 测量精度：0.01nm或0.01%

　　b. 准确度：1nm或0.2%

　　c. 稳定性：0.02nm或0.02%

　　d. 强大的软件材料库，包含500多种材料的光学常数

　　e. 通过Modbus TCP或OPC协议，与其他设备联用

　　适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

MProbe系列薄膜测厚仪

标准配置中包含：

　　1. 主机(光谱仪，光源，电线)

　　2. 反射光纤

　　3. 样品台及光纤适配器

　　4. TFCompanion软件

　　5. 校准套装

　　6. 测试样品，200nm晶圆

　　广泛的应用于各种工业生产及工艺监控中：

　　半导体晶圆，薄膜太阳能电池，液晶平板，触摸屛，光学镀膜，聚合物薄膜等