产地类别 | 国产 | 加热方式 | 电加热 |
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价格区间 | 5万-10万 | 控温精度 | ±1℃ |
内部尺寸 | 订制mm | 升温速度(达到最高温) | 5/min |
仪器种类 | 管式炉 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,石油,能源,电子/电池 |
最大功率 | 订制kW | 最高温度 | 1650℃ |
真空气氛管式炉专门设计用于半导体材料扩散、氧化工艺,尽可能满足其重点特殊要求;同时也用于太阳能电池行业的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多种渡膜(LPCVD)工艺。该炉采用FEC陶瓷纤维管保温,KTL电阻丝加热,优质气炼石英管作为炉膛,可预抽真空并通入保护/反应气体;日本*单回路温度控制仪控制,温区设计隔板结构,温度均匀。进口气氛控制系统,浮子流量计控制。具有温度均匀、控制稳定、具有温度扰动小、升温速度快、使用温度高、保温效果好、寿命长、节能等特点,是企业规模生产的理想设备。
设备型号 | RGL(D)-07/75/3 | RGL(S)-09/60/6 | RGL(D)-18/110/3 | RGL(D)-25/100/6 |
高温度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用温度 | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ |
控制精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
温区个数 | 3 | 6 | 3 | 6 |
炉管尺寸 | φ70x2200mm | φ90x1800mm | φ180x2100mm | φ250x2100mm |
发热元件 | 电阻丝 | 电阻丝 | 电阻丝 | 电阻丝 |
特点:
真空气氛管式炉采用高纯气炼石英管作为内炉膛,具有良好的洁净度,耐火保温材料全部采用*的轻质纤维制品,整机能耗低,升温快。加热元件采用真空成型FEC陶瓷纤维加热器,温控系统采用进口多段智能程序温控仪控制,温度控制具有良好的稳定性,重复性。