嵌入式膜厚仪FE-5000
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 大塚电子(苏州)有限公司-J
- 品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2019/5/25 15:58:00
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嵌入式膜厚仪FE-5000在高精度薄膜分析的光谱椭偏仪之上,增加安装了测量角度可自动变化装置,可对应所有种类的薄膜。嵌入式膜厚仪FE-5000在传统旋转分析仪法之上,通过安装相位差板自动分离装置,提高了测量精度。
特点
可在紫外和可见(250至800nm)波长区域中测量椭圆参数
可分析纳米级多层薄膜的厚度
可以通过超过400ch的多通道光谱快速测量Ellipso光谱
通过可变反射角测量,可详细分析薄膜
通过创建光学常数数据库和追加菜单注册功能,增强操作便利性
通过层膜贴合分析的光学常数测量可控制膜厚度/膜质量
测量项目
测量椭圆参数(TANψ,COSΔ)
光学常数(n:折射率,k:消光系数)分析
薄膜厚度分析