JGP-800型磁控溅射镀膜设备
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型号
- 产地
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2019/5/23 17:52:46
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产品标签
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| 产地类别 | 国产 |
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设备用途
该产品可广泛应用于半导体、LED和光伏等行业，主要用于各种金属、半导体及介质材料的薄膜制备，可满足科研兼小批量生产需要。
设备组成
JGP-800型磁控溅射镀膜设备该系统为单腔室结构，主要由溅射真空室、磁控溅射靶、离子轰击、公转基片台、光加热系统、溅射电源、工作气路、真空获得系统、安装机台、真空测量、水冷却及报警系统和控制系统等组成。
JGP-800型磁控溅射镀膜设备系统由工控机和PLC实现控制，有自动和手动控制两种模式。除取放样品外，其它操作过程全部在触摸屏上实现；提供真空系统、溅射工艺设置、充放气系统等人机操作界面；在工控机上可通过配方设置参数，实现对程序工艺过程和设备参数的设置。
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