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OLED有机无机蒸发镀膜系统

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镀膜系统

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真空应用设备、真空获得设备、太阳能光伏装备、工业化产品

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产地类别 国产

设备用途

用于生长薄膜太阳能电池，EL OEL分子有机电致发光器件薄膜的研究工作。广泛应用于大专院校、科研院所进行薄膜材料的科研与小批量制备。

设备组成

OLED有机无机蒸发镀膜系统采用直线式结构，主要由二个有机材料生长室组成，两个有机材料生长室之间通过闸板阀联接，其中一个生长室系统预留与手套箱对接接口，能够完成二套独立的制备薄膜系统之间互相传送基片。OLED有机无机蒸发镀膜系统有机材料生长室主要由真空室腔体组件、有机蒸发源、热阻蒸发舟、样品传递装置、样品台、膜厚监测仪、真空室照明装置、烘烤装置等组成。

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