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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉>AS-One systems 快速退火炉

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AS-One systems 快速退火炉

具体成交价以合同协议为准

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联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料学博士共同创办的德国公司。基于 Science is international”的想法,“全球协同实验室”成为三位博士追逐的梦想。

公司愿景是从科学家到科学家,科学开创美好未来。

FIRSTNANO深耕于半导体技术、材料科学、生命科学等科研领域,始终秉承“前沿、专业、科学”的宗旨,将前沿技术引进到协同实验室。我们的产品覆盖了微纳加工制程;材料科学的检测、分析;生命科学成像,脑科学与行为认知等相关领域。作为全球科技前沿的仪器供应商,FIRSTNANO具有全球技术视野、优质供应体系、以及严格的质量管控系统,能为客户提供前沿的技术解决方案。

公司服务的客户领域广泛,其中包括消费电子、航空、航天、医药技术、半导体行业、光电子行业、高校和研究机构。

在成长的过程中,我们脚踏实地、奋勇向前。自2015年香港(中华区)公司成立以来,我们一相继在香港、深圳、上海和武汉设立了分支机构。

我们真诚邀请业内英才加入FIRSTNANO TEAM,一起为梦想扬帆起航!




半导体仪器和电子产品耗材耗材

产地类别 进口

 

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AS-One系统有两种型号: AS-One 100 系统或AS-One 150 系统

快速退火炉是专门为满足大学、研究实验室和小规模生产的需求而研制的,高可靠且性价比高。

 

该工艺室采用贝壳式设计,可*进入底板,方便装载和卸载基板,并允许实际清洁腔体

 

快速数字PID温度控制器在整个温度范围内提供精确和可重复的热控制。

 

特征
基本尺寸:

Up to 直径100 mm (4-inch) for AS-One 100 

Up to 直径150 mm (6-inch) for AS-One 150 

Small substrates using susceptors

工艺腔体运用不锈钢冷腔室壁技术
温度范围标准配置:高达到1250°C

高温配置:高达到1450°C

温度控制

标准配置:热电偶和高温计用来测量温度

快速数字PID温度控制器在可获得精确的和可重复的热控制

真空和气体多可达5路带MFC的工艺气体,一路清洁气体
电脑控制

全PC电脑控制,每个配方多100步骤

全数据记录与处理历史的人机界面设计

选项:

石墨托盘/碳化硅涂层托盘/粗真空泵和涡轮泵/快速冷却系统/其他套件

 

 

应用

 

 

我公司专业销售Annealsys产品,并提供Annealsys产品的售前售后服务,如您对Annealsys产品感兴趣,欢迎前来咨询!

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