三维表面测量仪

三维表面测量仪采用多孔共聚焦技术，结合CCD的影像摄取，以有许多孔洞的旋转盘取代侦测器的孔洞，再将物镜垂直移动，以类似断层摄影方式，可在短时间(约几秒)内精确量测物体的三维数据。其测量方式是非接触式，不会破坏样品的表面，不需要在真空环境下测量，也可以用显微镜测量的功能来观测样本，其在严酷的工作环境下，也能正常使用。由于使用了共聚焦的方法，在测量渐变较大的高度时，跟其他方法相比，可以更精确量测物体高度，建立3D立体影像，优势相当明显。

     NanoFocus µsurf cylinder汽缸表面无损检测系统是气缸套的表面高分辨率非破坏性测量的共焦三维表面测量系统。在众多汽车公司和供应商的开发与质量控制部门被广泛使用。配合潜望镜式光学设计，测量头浸没在缸孔，可在非常短的时间到达任何测量位置自动化的测量过程都将存储在数据库中便于重复测量和连续检验。  

     测量过程中的自动化选项由一个可以自动直线运行的机械系统所完成，测量头可通过移动自动完成位于一个发动机的多个气缸的检测，整个过程中不需要用户的再引导或人工干预，此系统配备有悬臂系统和托盘保证了人体工学的工作环境。

应用

三维表面测量仪用来测量汽车引擎缸体内部(发动机气缸内壁)表面物理形貌，进行微纳米尺度的三维形貌分析(磨损分析、缺陷分析)，如3D表面形貌、2D的纵深形貌、轮廓（纵深、宽度、曲率、角度）、表面粗糙度等。有利于提高成形性，改善外观以及涂漆性能，降低磨损，提高效率。

产品特性：

（1）耐用可靠

（2）无损测量

（3）光学分辨率高

（4）速度快，数秒内完成测量

（5）真实的3D数据

产品功能：

（1）纹理分析（角度分析）

（2）粗糙度计算符合DIN EN ISO标准

（3）计算三维表面粗糙度参数

（4）磨损分析，缺陷检测和体积参数

技术参数：

LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h

测量时间：5~10秒

测量原理：非接触、共聚焦

计算机：高性能计算机控制系统，功能全面的软件，有拼接功能，

工作电源：100-240V, 50-60Hz, input<45W

外型尺寸：高490mm，特殊转接环直径280mm

集成箱尺寸（包含主机，系统控制器，电子模块等）：540*710*795mm

重量：11KG

洁净室等级: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)

物镜倍数 10X 20X 50X

单次测量面积（um） 1100*1100 550*550 220*220

NA值 0.3 0.45/0.6 0.8

工作距离（mm） 10.1 3.1/0.9 1

Z轴精度（nm） 20 <10 <2

XY轴精度（um） 1.9 0.95 0.38