GSC-1000 磁控溅射系统
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 德国韦氏纳米系统(香港)有限公司
- 品牌
- 型号 GSC-1000
- 产地 美国
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2019/1/15 17:23:56
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产地类别 | 进口 |
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GSC-1000磁控溅射系统
GSC-1000磁控溅射系统概述:
带有水冷或者加热(高可加热到700度)功能,大到6"旋转平台,大可支持到2个偏轴平面磁控管。系统配套涡轮分子泵,极限真空可达10-7 Torr,15分钟内可以达到10-6 Torr的真空。通过调整磁控管与基片之间的距离,可以获得想要的均匀度和沉积速度。
产品特点:
不锈钢,铝质腔体或钟罩式耐热玻璃腔
70l/s的涡轮分子泵,串接机械泵或干泵
1KW DC直流电源
晶振夹具具有的<1 ?的厚度分辨率
带观察视窗的腔门易于上下载片
基于LabView软件的PC计算机控制
带密码保护功能的多级访问控制
*的安全联锁功能
选配项:
Thickness Monitor 膜厚监测应 用:
SEM应用
溅射金属,大到6"的晶圆片