光刻机,镀膜机,磁控溅射镀膜仪,电子束蒸发镀膜仪,开尔文探针系统(功函数测量),气溶胶设备,气溶胶粒径谱仪,等离子增强气相沉积系统(PECVD),原子层沉积系统(ALD),快速退火炉,气溶胶发生器,稀释器,滤料测试系统
产地类别 | 国产 |
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电子束蒸发源
对于使用常用热蒸发技术非常难蒸发的材料,电子束蒸发是一种有效的蒸发手段.通过高能电子束射向靶材来升高靶材温度.相比于通常辐射或间接电阻加热方式,使用这种方式来达到温度没有本质的限制。
我司提供的这款电子束蒸发源是由高质量,*与高真空兼容材料构成,并且可以烘烤至250℃。
电子束蒸发源
应用领域:
表面科学
金属薄膜接触脚
MBE掺杂应用
型号参数:
多种不同型号提供不同功率的电子束蒸发源,最高500W,甚至按照客户需要提供更高功率的电子束蒸发源。
提供Flux电流监控,监控蒸镀速率。
坩埚容量小,节约靶材,提供最小0.21 mm3,最大1000 mm3的坩埚。
在高真空中,可以烘烤至250℃。
自动化软件控制;
手动/马达驱动挡板;
占用腔体空间小
冷却水流量小