光刻机,镀膜机,磁控溅射镀膜仪,电子束蒸发镀膜仪,开尔文探针系统(功函数测量),气溶胶设备,气溶胶粒径谱仪,等离子增强气相沉积系统(PECVD),原子层沉积系统(ALD),快速退火炉,气溶胶发生器,稀释器,滤料测试系统
产地类别 | 国产 |
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磁控溅射靶源
我司提供的磁控溅射源是目前一和超高真空系统(1e-11torr)匹配的商业用溅射源。 在不配置弹性垫圈的结构中,可烘烤至250℃。在匹配的超高真空环境下,可以实现超高纯度的溅射沉积。
磁控溅射靶源
应用范围:
金属沉积;
电介质沉积;
复合物沉积。
技术参数:
不同型号溅射源可以选用不同靶材尺寸 .1”,2”,3” 等各种靶材尺寸均可使用;
靶材厚度薄,最低4mm,节约靶材;
溅射源法兰上带有气体管道,以便提高操作溅射源时的真空。
手动/马达驱动 挡板
溅射源可设计成原位倾斜,倾斜角度(+/-30º)
气体流量控制
进程全自动化
真空中可烘烤至250摄氏度;
占用空间小;
冷却水流量低,仅0.5L/min