OLS4500 纳米检测显微镜

OLS4500纳米检测显微镜产品介绍：

OLS4500是一款集成了光学显微镜、激光显微镜和扫描探针扫描显微镜（SPM）功能于一体的新型纳米检测显微镜，可以实现从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和测量。通过光学显微镜的多种观察法、激光显微镜的高分辨率观察，可以很容易探索到观察点。即使在SPM的高倍率观察中，也可以做到不会迷失观察点，进行正确的观察和测量。这是具有光学显微镜、激光显微镜和SPM各自*功能的复合型显微镜。

特征：

• 一体机的机型缩短从放置样品到获取影像的工作时间

• 使用光学显微镜的多种观察方法，迅速找到观察对象

• 使用激光显微镜，可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像

• 迅速发现观察对象，在SPM上正确完成无缝观察

• 支持多种分析的SPM测量模式。3种标准模式（接触模式、动态模式、相位模式）和3种选择模式（表面电位模式KFM、电流模式、磁力模式MFM）

• 轻松检测85°尖锐角

• 高分辨率10nm，轻松测量微小轮廓

• 最多可以拼接625幅影像，从而能够获得高分辨率的大范围视图数据；可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量

• 可用于传统的线粗糙度测量，也可用于信息量较多的面粗糙度测量

  用本公司开发的微悬臂可以获得高精细、高质量的SPM图像

探针显微镜的原理和特长：

可以观察纳米级微观世界的探针显微镜(SPM:Scanning Probe Microscope)

探针显微镜（SPM）是通过机械式地用探针在样品表面移动，检测出探针与样品之间产

生的力、电的相互作用，同时进行扫描，从而得到样品影像。探针好的曲率半径为10 nm

左右。典型的探针显微镜是原子力显微镜（AFM），它通过检测探针和样品表面之间作用的引力和张力进行扫描并获得影像。探针显微镜能够观察纳米级微观形貌，可以捕捉到样品精细的一面。

通过微悬臂扫描进行纳米观察

OLS4500上采用了光杠杆法——通过高灵敏度检测出最前端装有探针的微悬臂的微小弯曲量（位移）来进行观测的方法。在悬臂的背面反射激光，并用压电元件驱动Z轴，使激光照射到光电检测器的位置，从而正确读取Z方向的微小位移。

多种观察模式在影像中呈现表面形状和物性

探针显微镜拥有多种观察模式，可以观察、测量样品表面的形状，还可以进行物性分析。OLS4500配有以下模式。

●接触模式：在影像中呈现表面形状（较硬的表面）

控制微悬臂与样品之间作用的排斥力为恒定的同时， 使微悬臂进行静态扫描， 在影像中呈现样品的高度。 还可以进行弯曲测量。

●动态模式：在影像中呈现表面形状（较软的表面、有粘性的表面）

使微悬臂在共振频率附近振动， 并控制Z方向的距离使振幅恒定， 从而在影像中呈现样品高度。 特别适用于高分子化合物之类表面柔软的样品及有粘性的样品。

●相位模式：在影像中呈现样品表面的物性差

在动态模式的扫描中， 检测出微悬臂振动的相位延迟。 可以在影像中呈现样品表面的物性差。

●电流模式*：检测出探针和样品之间的电流并输出影像

对样品施加偏置电压，检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影像。此外，还可以进行I/V测量。

●表面电位模式（KFM）*：在影像中呈现样品表面的电位

使用导电性微悬臂并施加交流电压， 检测出微悬臂与样品表面之间作用的静电， 从而在影像中呈现样品表面的电位。 也称作KFM（Kelvin Force Microscope）。

● 磁力模式（MFM）*：在影像中呈现样品表面的磁性信息

在相位模式中使用磁化后的微悬臂进行扫描， 检测出振动的微悬臂的相位延迟， 从而在影像中呈现样品表面的磁力信息。也称作MFM（Magnetic Force Microscope）。

应用实例：

DVD表面                                      维氏硬度计压痕

（扫描区域 5μm×5μm 3D影像）               （扫描区域 20μm×20μm 3D影像）

可清楚观察到DVD刻录面的凹陷和表面状态。      可清楚观察到从压痕顶角延伸的裂痕。

TiO2单结晶电路板                             IC元件圆孔

（扫描区域 5μm×5μm 3D影像）              （扫描区域 4μm×4μm 3D影像）

可观察到约0.3 nm的TiO2          可观察到元件表面附着的微小异物（白的原子台阶色部分）

高分子薄膜                                    铝合金阳极氧化膜

（扫描区域 10μm×10μm 3D影像）            （扫描区域 1.8μm×1.8μm 表面可观察到薄膜表面的划痕（中间靠左）          电位模式（KFM模式）左：高度影像右：电位影像）

观察到铝合金阳极氧化膜的表面形状（左）的同时，观察到表面电位（右）影像上没有显示出来的网眼状构造，可在电位影像上清楚的看到。