产品主要包括压电材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、1至6维纳米精度定位台/扫描台/运动台/位移台、1至3维纳米精度偏转台/旋转台/压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器/控制器、电感/电容/激光测微仪等系列产品,同时我们提供压电点胶阀维修等服务。
P11系列压电纳米定位台为小体积1~3维压电平移台,平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体的结构设计,多维运动无耦合。机构放大式驱动原理,内置高性能压电陶瓷,可实现110μm位移。闭环版本定位精度可达纳米级。采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无摩擦、免维护等特点。压电定位台具有的控制精度,分辨率和稳定性可以达到纳米量级,定位稳定时间仅为毫秒量级,压电定位台为无磁材质,使用过程中不受磁场的影响,压电定位台体积小、结构紧凑易于集成。
1~3维平移台
P11系列压电纳米定位台,包括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种运动结构。可以实现110μm的精密运动。
大行程、闭环版本定位精度高、响应速度快
P11系列纳米定位台采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~3维110μm的精密运动。
该系列压电纳米定位台可以选择开环或闭环版本,闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00/E01、E72/E73、E52/E53等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。
P11系列压电纳米定位台的响应速度非常快,配套E52系列压电控制器可实现0.8ms的阶跃时间。