产品主要包括压电材料、压电陶瓷片、叠堆压电陶瓷、精密压电促动器、压电马达、压电直线电机、1至6维纳米精度定位台/扫描台/运动台/位移台、1至3维纳米精度偏转台/旋转台/压电偏转镜、压电物镜定位器、六自由度并联机构、压电陶瓷驱动电源、压电陶瓷驱动器/控制器、电感/电容/激光测微仪等系列产品,同时我们提供压电点胶阀维修等服务。
XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台,内置高可靠性压电陶瓷,采用无摩擦柔性铰链导向机构,具有刚度大、分辨率高、响应速度快等特点,可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。
1-3维平移台
XP-63X系列压电纳米定位台可以通过叠加的方式组成XY,XZ,XYZ多种运动结构。
多种规格型号可选。
柔性铰链采用精密线切割技术。
应用实例
采用XP-633压电纳米定位台带动探针作精密位移定位检测控制,从而完成1mN的精确力控制实验。
体积小、刚度大、响应速度快、闭环精度高
XP-63X系列压电纳米定位台的*结构设计,具有大机械刚度、大承载、更高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有很高的使用频率,响应时间可以实现亚毫秒级。例如XP-630带动20g负载,响应时间仅为5ms。
XP-63X系列产品体积小巧,XP-630一维尺寸仅为60×45×18mm,易于与其他平台设备集成。
闭环版本配置应变传感器,可实时检测位置信号并反馈给闭环控制器,控制器通过PID算法对检测到的位置信号进行修正,从而实现纳米级的精密定位。