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化工仪器网>产品展厅>实验室常用设备>恒温/加热/干燥>马弗炉/电阻炉/实验炉>PECVD1100-100 PECVD开启式真空管式炉

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PECVD1100-100 PECVD开启式真空管式炉

参考价 ¥ 1688
订货量 ≥1
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称 苏州诺曼比尔材料科技有限公司
  • 品牌
  • 型号 PECVD1100-100
  • 产地 江苏省苏州市昆山开发区六时泾路28号
  • 厂商性质 生产厂家
  • 更新时间 2018/4/11 14:00:22
  • 访问次数 342

联系我们时请说明是化工仪器网上看到的信息,谢谢!


 苏州诺曼比尔材料科技有限公司是经昆山市*批准注册的合法企业,生产基地位于昆山市经济技术开发区六时泾路28号,注册资金500万元人民币,公司是主要以高温实验电炉和新型材料热处理专业设备的研发、制造和销售。
  经过集团公司十多年的发展,目前公司已研发产品类,30多个系列,产品包括升降炉、气氛炉、真空炉、管式炉、箱式炉、井式炉、牙科设备-义齿烧结炉、、蓝宝石晶体退火炉、还有针对不同行业专门研发的3D打印金属工件热处理炉、铍铜真空时效退火炉、硬质合金*真空焊接炉、植入体热处理炉、电空元器件热处理炉、氢气炉等,主要适用于科研单位、大专院校、新材料、新能源、物理、化学、冶金、玻璃、锂能等领域,并获得了广大用户的青睐与好评。苏州诺曼比尔材料科技有限公司的电炉产品在炉温均匀性、发热元件的应用、快速升温、高温获得等方面见长。
  苏州诺曼比尔材料科技有限公司自成立以来已拥有6000多平方米的现代化标准厂房,成套的加工设备,完善的质量检测体系;汇集了一批*从事实验电炉生产制造和服务的技术精英,其中,本科以上学历的工程技术人员30人,技术工人80余人的精英团队,具备年产1500套实验电炉的生产能力。现已和复旦大学、同济大学、交通大学、华东师范大学、广西师范学院、太原理工大学、贵州大学等各大高校以及西安航天六院、湖南闪金锡矿山、苏州AEM科技、绍兴质量监督检测院、济南金安试验设备有限责任公司、电子业*AET鑫永丰科技等各大企业成为*战略合作伙伴。公司着力研究和开发更节能、环保和自动化程度高的各类高温炉设备,不断探索各种新技术、开发新产品,来满足客户对高温炉的需求。

实验电炉, 工业电炉, 3D打印金属件热处理设备, 硬质合金焊接设备, 植入体热处理设备, 电真空元器件真空除气设备, 铍铜真空时效退火设备, 贵金属提纯设备,

PECVD

 

设备介绍: 本设备是借助射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。为了使化学反应能在较低的温度下进行,利用了等离子体的活性来促进反应,因而这种CVD称为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)

要特点:

    1、通过射频电源把石英真空室内的气体变为离子态。

    2、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积所需的温度更低。

    3、可以通过射频电源的频率来控制所沉积薄膜的应力大小。

    4、PECVD比普通CVD进行化学气相沉积速率高、均匀性好、*性和稳定性高。

    5、广泛应用于:各种薄膜的生长,如:SiOx, SiNx, SiOxNy 和无定型硅(a-Si:H) 等。

开启式真空管式炉技术参数

石英管尺寸

Φ100*L1200mm

加热元件

电阻丝

测温元件

N型热电偶

加热区/恒温区

440mm/200mm

工作温度

≤1100℃

控温模式

PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制

控温精度

±1℃

电功率

AC220V/50HZ/3KW

质量供气系统

标准量程

50-500ml/min

压力表测量范围

-0.1Mpa~0.15Mpa

极限压力

3MPa

针阀

316不锈钢

电功率

AC220V/50HZ/20W

响应时间

气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec

重复精度

±0.2%

真空系统参数

工作电电压

220V±10%  50~60HZ

功率

400W

极限真空

4X10-1Pa

/排气口口径

KF25

射频电源

信号频率

13.56 MHz±0.005%

功率输出范围

5W-500W

供电电压

单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ

整机效率

>=70%



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