UVISEL 2 VUV UVISEL 2 VUV真空紫外椭偏仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 HORIBA科学仪器事业部
- 品牌 HORIBA/堀场
- 型号 UVISEL 2 VUV
- 产地
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2024/1/23 17:31:03
- 访问次数 2020
产品标签
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真空紫外椭偏仪专为VUV 测量设计,整个系统处于真空状态,无氧气吸收。具备高度准确性;*的超快测量速度;快速样品室抽真空能力,方便快速更换样品;氮气消耗量少。
真空紫外椭偏仪产品特点
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50KHz 高频PEM 相位调制技术
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45 秒内完成充氮气
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2 分钟内完成样品室抽真空
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8 分钟内完成光谱全谱范围内测量
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两种工作模式:氮气清洗结合抽
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真空、连续氮气清洗
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光谱范围:147nm~850nm;147nm~2100nm
重点应用领域
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超薄膜
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157nm 光刻新材料
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有机材料、高分子材料
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高k 材料:HfO2、Al2O3、TiO2、HfxAlyOz
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抗反射涂层
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半导体和介电材料电子跃迁
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MgF2、CaF2、LaF3