Harrick Plasma 等离子清洗机真空泵配置：

>1.4 1.4 m3/hr (0.83 ft3/min)  极限压力在200 mTorr (0.27 mbar)以下

真空泵型号：

经济型 PDC-VPE (115V); PDC-VPE-2 (230V)

稳定型 PDC-VP (115V ) ;   PDC-VP-2 (230V)

工艺气体为氧气，请选择真空泵型号

经济型 PDC-OPE (115V); PDC-OPE-2 (230V)

稳定型 PDC-OPD (115V); PDC-OPD-2(230V)

对于其他腐蚀性或者反应性气体，请咨询 German First-Nano System （HK）Limited

参考客户：

       兰州大学  郑州大学 上海交通大学 上海复旦大学 合肥工业大学 成都电子科技大学 北京大学  清华大学医工所  兰州化物所 中科院纳米所 等等

我公司专业销售Harrick Plasma产品，并提供Harrick Plasma产品的售前售后服务，如您对Harrick Plasma产品感兴趣，欢迎前来咨询！German First-Nano System （HK）Limited