晶圆Axio Imager Vario蔡司金相显微镜
参考价 | ¥ 360000 |
订货量 | ≥1 |
- 公司名称 北京冠普佳科技有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地 德国
- 厂商性质 经销商
- 更新时间 2017/9/24 16:40:22
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晶圆Axio Imager Vario蔡司金相显微镜的介绍:
分析从zui小的 MEMS 传感器到超大 XXL 晶圆,或甚至整块平板显微器,其间不会对样品造成破坏。借助zui大 300 mm 的横向移动距离和zui高 254 mm 的垂直深度,您可以在 Axio Imager Vario 下检测大量样品。一体化机柱设计确保了稳定性。在超净室内检测晶圆的应用中 – Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。利用驱动 Z 轴的电动马达与自动聚焦硬件确保自动调整至*聚焦位置。
晶圆Axio Imager Vario蔡司金相显微镜的优点:
- 两种手动和一种电动机柱(配有符合工业标准的三个模式控制按钮)可供选择,充分利用显微镜zui大 300 mm 横向与纵向移动距离和zui高 254 mm 垂直深度的优势。
- Axio Imager Vario 能通过物镜转盘的上下移动来聚焦样品。这就意味着,即便是较重的样品,也可以获得高精准聚焦精度和可重复性。
- 借助自动聚焦硬件,您可以精准快速地聚焦低对比度的反射样品。
- Axio Imager Vario 与 LSM 700 组合应用,以高分辨率无接触地分析敏感样品。
- Axio Imager Vario 已通过 DIN EN ISO 14644-1 标准认证,并满足洁超净室等级 5 的要求。
的性能:
半导体制造与晶圆检测需要在超净室内完成。根据 DIN EN ISO 14644-1 标准,以每立方米的颗粒数量和大小将其划分成不同等级。在超净室应用中,Axio Imager Vario 已通过此标准认证,并满足超净室等级 5 的要求。超净室 ISO 5 等级相当于原 FED STD 209E(1992)标准的 100 级。超净室套件中包含一个 7 孔物镜转盘、一个颗粒保护罩及一个防喷嚏保护罩。
的对焦介绍:
集成有 Auto Focus 自动聚焦硬件系统的 Axio Imager Vario 能够在高达 12000 µm 的焦点捕获范围内实现快速精准的聚焦。在工业生产和研究的检测应用中,您需要一套聚焦精度能达到物镜景深 0.3 倍的高精度聚焦系统。该自动聚集硬件适合于使用反射光、透射光、明场、暗场、偏光、微分干涉相差及斜照明观察方式的应用。