Smart Coater 100 旋转涂膜机

旋转涂膜机特性优点：

的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
on ®/polyethylene “密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速10000rpm，并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，*生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部 （以利于排风效率和匀胶均一性）。
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时*隔绝光阻的溢出有效隔绝有毒气味的散发。

旋转涂膜机主要性能指标：

主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
旋涂程序：zui多可存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)
旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
转速调节精度<1rpm，重复性< 1rpm
工艺时间设定： 0-3,000 sec/step，时间设置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-200mm
旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
设备尺寸  32cm W × 44cm D × 30cm H