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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>热工艺设备/热处理设备>退火炉>AS-Micro 法国ANNEALSYS 快速退火炉(RTP)

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AS-Micro 法国ANNEALSYS 快速退火炉(RTP)

具体成交价以合同协议为准

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 北京朗铭润德光电科技有限公司是从事于半导体和太阳能薄膜电池研发和生产型设备的代理公司,主要代理产品包括:

德国FHR公司:磁控溅射设备、PECVD设备、刻蚀设备、靶材、UPS03气压控制系统等。

德国Centrotherm公司:尾气处理设备。

法国FLOWLINK公司:高纯特气阀门,如隔膜阀、波纹管阀、止回阀等。

法国Annealsys公司:RTP快速热处理设备、MOCVD设备、LPCVD设备等。

法国MPA公司:提供制备各种特殊材料的CVD设备和工艺。

本公司在向客户提供*产品的同时,向客户提供*的服务;为客户着想,与客户共求发展,共创双赢。朗铭值得您的信赖与期待!

Annealsys的RTP快速热处理、小型MOCVD,Centrotherm的废气处理设备,Flowlink高纯特气阀门

低成本3-英寸快速热处理设备,适用于研发应用

zui高到 1250℃, 250℃/s, 高真空性能

应用:

注入退火

合金接触

快速热氧化(RTO)

快速热氮化(RTN)

致密化和结晶化

硅化

等等

主要特性:

配有无声风扇冷却的红外线卤素管灯退火炉

配有水冷却不锈钢法兰的石英管腔室

快速PID温度控制器

热电偶控制

大气和真空工艺性能

配有针阀的吹扫气路

zui多3条气路,配有数字MFC

配有以太网通讯的PC控制,用于快速数据记录

可选镀有SiC石墨基片托,用于2-英寸基片

可选涡轮分子泵和压力控制

可选配双腔室用于交叉污染问题

 

 

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氧化扩散设备


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