SFT9500系列 日本日立仪器X射线荧光薄膜厚度测量仪SFT9500系列X射线荧光镀层厚度测量仪

概述：

X射线发生系统为X射线聚焦光学系统（聚焦导管）与X射线源相结合，并且可以照射出实际照射直径

为 0.1mmφ以下高强度的X射线束。为此，可以对以往X射线荧光镀层厚度测量仪由于照射强度不足而

无法得到理想精度的导线架、插接头、柔性线路板等微小部件及薄膜进行测量。同时搭载高计数率、

高分辨率的半导体检测器，在测量镀层厚度的同时，也能对RoHS、ELV、中国版RoHS等法规所管制的

有害物质进行分析测量。

主要特点：

1.X射线发生系统采用了聚光导管 由于采用了X射线聚光导管方式，可得到以往十倍以上的X射线强度，

从而可以提高微小样品的膜厚测量及有害物质测量的精度。

2.无需液氮的半导体检测器 在进行薄膜测量与有害物质的浓度测量时，高分辨率的检测器是*的。

SFT9500的检测器不但可以达到高分辨率，而且可以实现高计数率。同时，由于使用了电子冷却方式，

所以无需液氮。

3.能谱匹配软件（选配件） 可瞬间识别未知样品与事先存档的X射线能谱库中哪一个样品较为接近的软件。

对识别材料十分有效。

4.块体检量线软件（适用于电镀液分析） （选配件） 可简单地测量出电镀液中主要金属的浓度。

5.绘图软件（选配件） 将元素面分析的结果进行等高线和色彩使用等视觉处理的软件。

6.电镀液容器（选配件）

7.各种标准物质（选配件）

产品规格：