椭圆偏振测厚仪
具体成交价以合同协议为准
- 公司名称 天津广普光学仪器有限公司
- 品牌
- 型号
- 产地 天津市河西区灰堆东五里堆
- 厂商性质 生产厂家
- 更新时间 2018/5/14 9:00:00
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椭圆偏振测厚仪
产品特点:
仪器采用消光法自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度高、灵敏度高以及方便测量等特点;
光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高;
仪器配有生成表、查表以及精确计算等软件,方便用户使用。
规格与主要技术指标:
测量范围:薄膜厚度范围:1nm-300nm; 折射率范围:1-10
测量zui小示值:≤1nm 入射光波长:632.8nm
光学中心高:80mm 允许样品尺寸:φ10-φ140mm,厚度≤16mm
偏振器方位角范围:0°- 180°读取分辨率为0.05°
测量膜厚和折射率重复性精度分别为:±1nm和±0.01
主机重量:25kg 入射角连续调节范围:20°- 90°精度为0.05°
成套性:主机、电控系统、计算软件
外形尺寸:680*390*320mm