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化工仪器网>产品展厅>半导体行业专用仪器>光刻及涂胶显影设备>匀胶机>KW-4A 匀胶机(Spin Coater)KW-4A

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KW-4A 匀胶机(Spin Coater)KW-4A

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匀胶机 烤胶机 紫外固化机 滴胶机

 

匀胶机(Spin Coater)KW-4A
KW—4A型匀胶机适用于微电子、半导体、制版、新能源、生物材料、光学及表面涂覆等工艺,主要应用于溶胶-凝胶(sol-gel)实验中的薄膜制作,其工作原理是高速旋转基片,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂布在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。
本机具有以下特点:
 1.电机励磁和电枢分开供电。励磁用12伏直流稳压电源供电,电枢用运放控制IRF830调速,它比可控硅调速*,故其转速在500—8000/分范围内非常稳定。
2.本匀胶机有两档转速。在启动之后,先以低速运转,然后自动变到高速运转。两档速度及运行时间分别可调。
3.本匀胶机采用光电检测,数字电路测速,对电机的转速检测快速准确。电机稳速方面采用了光电隔离的精密负反馈电路,使整机在高达8000RPM以上转速时仍十分稳定,有力的保证了匀胶质量。
4吸片采用电子开关控制电磁阀完成气路通断,这样适合流水线工艺,一个气泵可同时带几台匀胶机工作,提高效率。
5.匀胶机定时采用可调定时电路控制,面板上调节Timer旋钮即可改变匀胶时间。
6.在安装结构上,采取了减震措施,因而匀胶机在运转时噪音很低。
7.电磁阀与电机运行有连锁功能,电磁阀未动作不能启动电机运行,本次匀胶电机未停不能进行下次匀胶,若运行中误按“CONTROL”键也不能停止吸气,即不会产生跑片。
 
由于采用了以上一系列措施,故本机具有很高的转速稳定性和快速启动性,可以保证涂覆表面均匀,并可通过调节转速调节涂覆厚度。
技术指标:
Speed调速范围 500—2500/
Timer
匀胶时间 3—18
Speed
转速范围 800—8000/
Timer
匀胶时间 3—60
转速稳定度 ±1%
电源电压(二种) 220v/ 50Hz110v /50Hz
电机功率 40W
被镀物质尺寸 Φ8—Φ150mm
真空泵抽气速率 ≥60/
仪器尺寸:207×235×260 mm
包装尺寸:300×250×280 mm
毛重:8 Kg


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