1 总体参数
| 1.1 水含量 | 0~100 ppm |
| 1.2 气体流量 | 0~600 sccm |
| 1.3 载气 | 特气 |
| 1.4 连续运行时长 | 12 个月 |
| 1.5管路材质 | SUS316L |
| 1.6额定功率 | 500W@220VAC 50Hz |
2 工作原理
图1 微量水分发生器工艺流程图
（1） 湿路载气经减压阀2-1#调节到5bar AG，在饱和器中加湿，得到约2000ppm的饱和含湿气体；饱和含湿气体经过减压阀2-2#调节到2bar AG左右，再经质量流量控制器2#调节流量。
（2） 干路载气经减压阀1-1#调节到2bar AG左右，再经质量流量控制器1#调节流量。
（3） 干路和湿路气体流量比例控制在19：1，再经过混合器后得到湿度约100ppm的目标含湿气体输出。
（4） 饱和器通过冷水机控温，使其温度在10℃
3 设备接口
桌面式机箱，
载气入口：1/8’’ 卡套
气体出口：1/8’’ 卡套
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苏州阿洛斯环境发生器有限公司
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