设备配备预压料桶、与大气隔离的泵模组、高稳定/耐腐蚀蒸发器以及一体化设计的嵌入式预热器。液态前驱体经过蒸发段气化，随后调温输出。输出组分进一步分布或混合，为CVD工艺提供气态原料。前驱体接触的材质均采用耐腐蚀材料。
PLC控制系统，Ethernet通讯，与CVD生产线主控系统通讯。
| 含锡前驱体 | ≤60 | sccm |
| 含氟前驱体 | ≤20 | sccm |
| H2O | ≤60 | sccm |
| 功率 | 7.5 | kW |
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苏州阿洛斯环境发生器有限公司
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