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分子泵 HiPace 1200-2300 l/s 产品优点

1. 抽速从 1200-2300 l/s 的全系列产品

2. 安装角度可选 0°-90° 和 90°-180°

3. 分子泵有抗腐蚀性气体型号可选(C型号)

4. 带节流阀和阀门的集成净化气体系统

5. 电压范围 90 - 265 V

6. 获得 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV认证

7. 防护等级 IP54 符合工业环境应用要求

8. 适用于各种严苛工艺如刻蚀，溅镀，分子泵耐粉尘

9. 集成分子泵控制器 TC 1200，可直接连接一般电源

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 HiPace 300-800M, ATH 500 M产品优点：

1. 磁悬浮涡轮分子泵任意角度安装

2. 集成控制器

3. 清洁无油

4. 高气体流量

5. 低震动及低磁场干扰

6. 磁悬浮涡轮分子泵动平衡自动补偿

7. 转速范围大