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4.低压化学蒸气沉积（LPCVD）

5.硅晶生长

6.泄露检测

特点：

1．最大抽速保持到133 Pa.    2．由于泵腔内金属间无接触，使用寿命长.3．耐磨性好，抗腐蚀性强.4．泵腔内气道畅通，无小孔阻尼现象.5．气镇可调，可抽除可凝性气体.6．极限压力可达1.33 Pa.7．此泵有一根轴、二个偏心轮和二个成180度放置并平行运行的滑阀.

凯尼 KLRC双级液环真空泵 是抽吸潮湿混合气体以及抽吸含微小液滴气体的理想设备。整套工程系统解决方案包括仪表、控制装置、管路和阀门、自循环系统、工作液再循环系统供选择。

产品特点： 抽吸压力可以低至 4Torr(5.3mbar)。然而，低压力下的工作性能会受工作液的饱和蒸汽压限制，工作液可以是水、油或流程液体。该泵有标准材料配置、全部铸铁材料或 316SS不锈钢材料选项，通常是水冷系统，风冷系统供选择。