采购中心

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M: 抽速范围在 1400-2800l/s 的磁悬浮涡轮分子泵. ATH 系列磁悬浮分子泵拥有5轴磁轴承监测系统和实时的转子位移自动修正功能确保长时间的稳定性和可靠性, 同时运行时也非常安静. 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 系列广泛应用于半导体, 镀膜和离子刻蚀等行业.

Pfeiffer 磁悬浮涡轮分子泵 ATH 1600-3200M, ATP 2300M 优点

1. 清洁无油, 大抽速

2. 免维护低成本保养费

3. 涡轮分子泵极低的噪音和震动

4. 可任意角度安装

Pfeiffer 分流式涡轮分子泵, 抽速最高 53 l/s 和在中间抽吸装置上抽速 0.15 l/s (N2), 可取代多款涡轮分子泵, 独立机械和真空结构设计, 特别适合分析研发行业.

Pfeiffer 普发涡轮分子泵 SplitFlow 优点

紧凑设计, 占地空间小

对所有气体的高抽吸能力和更高压缩比

集成分子泵控制器

防护类型 IP 54 适合于工业用途

准 S2 和 UL/CSA 认证

运行数据监控保证分子泵运行安全性