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近场光学显微镜横向分辨校准标准征求意见
2026年09月09日 08:32:58
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：120
国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 近场光学显微镜横向分辨的定义和校准》目前正在征求意见阶段，该标准等同采用ISO 27911:2011，将填补国内近场光学显微镜横向分辨校准领域的标准空白，为SNOM仪器性能评价和实验室间数据比对提供统一技术依据。
国家标准计划《表面化学分析 扫描探针显微术 近场光学显微镜横向分辨的定义和校准》(计划号：20260910-T-491)目前已进入征求意见阶段，该标准由全国表面化学分析标准化技术委员会(TC608)归口，主管部门为中国科学院，项目周期为12个月，拟在标准发布后3个月正式实施。
标准主要起草单位包括中国计量科学研究院、上海市计量测试技术研究院有限公司、国家纳米科学中心、上海第二工业大学、北京大学。本标准等同采用国际标准ISO 27911:2011，技术内容与国际标准完全一致。
扫描近场光学显微镜(SNOM)是扫描探针显微镜(SPM)的重要分支，通过收集近场光学信号突破传统光学衍射极限，可实现纳米尺度结构的光学观测，其横向分辨是决定成像效果和分析数据可靠性的核心技术指标。
此前SNOM的横向分辨存在多种不同的表征方式，行业内缺乏统一的技术标准。本次制定的标准提出了简便有效的横向分辨测定方法，可作为SNOM仪器质量评价的技术依据，有助于提升不同实验室和研究机构在SNOM高分辨成像中数据的一致性和可比性，对科学研究、材料分析、纳米技术等相关领域的应用具有重要支撑作用，也是SPM及表面化学分析标准体系的重要组成部分。
本标准仅针对有孔SNOM仪器的横向空间分辨校准，适用于在透射、反射、集光或照明/集光模式下运行的孔径型SNOM。标准的核心方法是以远小于预期分辨的荧光纳米物体(如量子点)作为测试样品，通过对单个量子点进行SNOM荧光成像获取点扩散函数(PSF)的二维轮廓，以半高全宽(FWHM)作为SNOM横向分辨的表征值。
为验证方法的可行性和有效性，标准采纳了ISO 27911:2011附录A中的两项案例研究作为验证依据。结果表明，该测量方法具备较好的可操作性和一致性，能够为SNOM仪器性能评价、校准以及不同实验室间测量结果比对提供技术支撑。
标准发布实施后，将规范SNOM横向分辨的测量流程，提高纳米尺度光学成像测量结果的准确性、重复性和可比性，促进近场光学显微技术在表面化学分析、纳米材料表征等领域的方法评价和技术交流。
该标准与已发布的GB/T 43661-2024《表面化学分析 扫描探针显微术 用于二维掺杂物成像等用途的电扫描探针显微镜(ESPM，如SSRM和SCM)空间分辨的定义和校准》等标准共同构成SPM分辨校准标准体系，进一步完善了表面化学分析领域的标准框架。
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