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助力半导体国产化精密控制升级 多场科技携精密部件亮相CSEAC 2026
2026年09月03日 10:45:20
来源：化工仪器网 作者：羊舌木 点击量：15001
作为国家专精特新“小巨人”企业，多场科技本次携三款核心产品亮相CSEAC 2026。
8月31日，第十四届半导体设备材料及核心部件展(CSEAC 2026)在无锡太湖国际博览中心正式启幕，本届展会以“做强中国芯 拥抱芯世界”为主题，展览总面积突破7万平方米，横跨八大展馆，吸引了1400家海内外半导体全产业链企业参展，开幕首日现场人流如织，各展区洽谈交流氛围热烈。
多场低温科技(北京)有限公司(以下简称“多场科技”)是一家专注于全环境纳米级及亚纳米级超精密运动控制、定位测量技术与产品的研发、销售及提供整体解决方案的企业，在半导体制造、精密光学、高端科学仪器等领域开展相关技术研发。
作为国家专精特新重点“小巨人”企业，多场科技本次携三款核心产品亮相展会，聚焦半导体制造环节的精密控制需求，带来适配极端环境的高精度解决方案。展会现场，多场低温展台前专业观众来来往往，多场科技团队与来访观众不断开展深度交流。
纳米级压电陶瓷位移台
纳米级压电陶瓷位移台
纳米级压电陶瓷位移台覆盖线性、偏摆、旋转、多轴串联/并联、亚纳米高速扫描等全品类规格，可实现纳米级/亚纳米级高精度运动控制，支持超高真空、完全无磁、极低温等特殊环境工作，能够匹配大负载、长行程、高速的定制化需求，可广泛应用于半导体光刻、键合、量测、检测等核心环节。
电容位置传感器
电容位置传感器
多场科技的电容位置传感器具备亚纳米级空间分辨率，支持50kSa/s高速数据采集与高速通讯，量程覆盖范围0.2-3mm，提供多种探头形式可选，同样适配超高真空、完全无磁、极低温等特殊工作环境，可精准满足半导体键合、量测、检测等环节的精密测量定位需求。
多通道激光干涉仪
多通道激光干涉仪
该款多通道激光干涉仪可实现皮米级高速测距，工作距离覆盖0至10米，最大目标速度可达3.8 m/s。单台设备配备3个测量通道，可独立测量3个线性运动自由度，并提供多种探头形式可选。该设备支持超高真空、完全无磁等特殊使用环境，可广泛应用于半导体制造中精密定位实时位置反馈等环节。
本次CSEAC 2026现场，多场科技以核心精密部件产品为依托，与产业链上下游伙伴展开深度沟通对接，既展现了企业在超精密运动控制领域的技术积累，也为后续产业协同合作搭建了桥梁，助力国内半导体产业在核心部件环节持续突破升级。
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