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总预算3.67亿元!该单位大规模采购半导体行业专用设备

2026年09月03日 10:03:14 来源:化工仪器网 点击量:2206

zycgr21070801公布大批仪器采购意向,预算总金额36701.98万元。

  近期,zycgr21070801公布大批仪器采购意向,计划采购脉冲管压缩机制冷机、超高带宽示波器、高精度高速变形镜、恒温水及冷却水系统、等离子体化学气相沉积系统(PECVD)、离子束刻蚀机(IBE)等仪器设备,预算总金额36701.98万元。预计采购时间2026年9月~12月。
 
  采购意向只是政府采购的初步安排,具体采购情况以zycgr21070801发布的采购公告和采购文件为准,有意向的企业可持续关注其发布的招标信息。
 
zycgr21070801仪器采购意向汇总

序号

采购项目
名称

预算金额
(万元)

预计
采购日期

1

氦三气体

1584

2026年9月

2

脉冲管压缩机制冷机

450

3

超高带宽示波器

271.2

4

二次电源、离子泵驱动与光电倍增模块

1440

5

130nm SOI CMOS NTO流片

178

6

射频放大器

450

7

合路器

250

8

互联线缆

200

9

滤波器

240

10

通信模块

400

11

集控中心

500

12

测控系统(100比特)

1437.2

13

一体化测控SIP

1350

14

稀释制冷机

12345.18

15

脉管制冷机

193.4

16

28nm工程批流片

1200

17

MPW流片

450

18

高速高幅度脉冲驱动芯片

200

19

射频DAC芯片

276

2026年10月

20

光谱放大模块

240

21

量子链路自适应光学模块

1145

22

氦液化系统

350

23

高精度高速变形镜

200

24

恒温水及冷却水系统

424

25

CCP_厚氧化硅层

400

2026年12月

26

化学机械抛光机_多晶硅

700

27

化学机械抛光机_钨

700

28

等离子体化学气相沉积系统(PECVD)

600

29

磁控溅射机_钛铜

300

30

减薄机_硅

230

31

自动双面刷片机

480

32

电镀机

700

33

化学机械抛光机_铜

700

34

深孔磁控溅射机

1688

35

低压化学气相沉积系统_掺杂多晶硅

150

36

深硅刻蚀机

890

37

晶圆级半自动绑线机

240

38

感应耦合等离子体刻蚀机_金刚石

550

39

离子束刻蚀机(IBE)

900

40

-3低温测量模块

200

41

聚焦离子束设备(FIB)

1500

合计

36701.98

 

来源:中国政府采购网

整理:化工仪器网

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