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我国在微g级振动加速度计量领域取得新突破
2026年08月28日 08:32:12
来源：化工仪器网 作者：宋池 点击量：3639
由福建省计量科学研究院承担的《微g级振动加速度量值溯源和计量标准的研究》重点科技项目顺利通过专家组验收。该项目成功研制出频率覆盖2Hz至200Hz、幅值下限达5μg的微g级振动加速度标准装置，有效完善了我国超精密微弱振动量值溯源体系。
近日，由福建省计量科学研究院承担的重点科技计划项目《微g级振动加速度量值溯源和计量标准的研究》顺利通过专家组验收。该项目的完成填补了国内微g级振动加速度量值溯源能力的空白，标志着我国在超精密、微弱振动计量技术领域迈出了坚实的一步。
验收委员会由国内精密计量、传感器技术及超精密制造领域的专家组成。在听取了项目组的汇报、审阅了相关技术文档并进行现场考察与数据复核后，专家组一致认为：该项目技术路线正确、数据真实可靠，各项关键技术指标均达到或部分超过项目预期目标，同意通过验收。
随着航空航天、半导体制造(如光刻机厂房环境监测)、地震预警及微机电系统(MEMS)等高新技术产业的快速发展，对微弱动态力学信号的精准测量提出了极其苛刻的要求。然而，在微g(μg)甚至更低量级下，如何产生高纯度微弱激励、如何有效抑制环境本底噪声、如何实现微小信号的绝对测量，一直是计量学界的难点。
针对上述瓶颈，该项目历时多年攻关，成功研制出微g级振动加速度标准装置。该装置主要由三大核心部分组成：
电磁式微加速度发生装置：解决了超微弱驱动下正弦信号波形失真的难题，能提供高纯度的微弱物理激励。
激光干涉法微加速度测量系统：采用光学绝对法测量，通过激光波长直接将微弱振动量值溯源至长度与时间这两个国际单位制(SI)基本单位。
超低频空气弹簧隔振装置：建立了“超静”的实验测试环境，有效隔离了地面和建筑物的微弱环境噪声，保障了测量的准确性。
技术测试数据表明，该标准装置的频率范围覆盖2 Hz至200 Hz，加速度幅值测量范围达到 5μg至50 mg。其不仅支持激光干涉绝对校准，也支持高效率的比较法校准，展现了极高的实用价值和向纳g级(ng)技术路线延伸的可行性。
该项研究的顺利验收，为国内高分辨率、超低噪声微振动传感器的自主研发与出厂标定提供了核心的“技术尺子”，对打破高端传感器量值溯源受制于人的局面、保障我国重点产业供应链安全具有重要推动作用。
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