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攻克“贴片”工艺 原子力显微镜探针国产化迈出关键一步
2025年12月29日 10:48:25
来源：化工仪器网 点击量：5143
近日，淄博探微纳米科技有限责任公司的创新成果——《一种高精度AFM探针贴片对准放置装置》获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。这项技术攻克了快速定位探针生产中的对准贴装工艺难题。
原子力显微镜(AFM)探针是其核心部件，探针通过“摸索”样品表面来获取信息。当探针接近样品时，针尖与表面原子之间的相互作用力会导致悬臂发生偏转。通过激光反射系统或光学干涉技术检测悬臂的形变程度，并将其转换为电信号，最终生成样品的高分辨率表面图像。
就在近日，淄博探微纳米科技有限责任公司(以下简称“探微纳米”)的创新成果——《一种高精度AFM探针贴片对准放置装置》获得国家知识产权局颁发的实用新型专利证书。这项技术攻克了快速定位探针生产中的对准贴装工艺难题，标志着我国在该类产品全流程国产化道路上取得了实质性进展。
将微米级悬臂梁和纳米级针尖的AFM探针精准贴装到特定基座，这一技术长期被国外垄断。为打破垄断，此次探微纳米通过创新的MEMS结构设计，成功解决了在微纳米尺度下探针芯片与基座的对准难题。据悉，这项专利技术的核心突破主要体现在两个方面：
一是在超高对准精度方面，该装置显著提升了贴片位置的一致性，解决了微纳米尺度下的精准对位问题。
二是在工艺稳定性与效率上，该技术极大减少了人为操作带来的不确定性，保证了产品的高良率与长期可靠性的同时，也提升了生产效率。
该技术突破，标志着AFM探针国产化迈出了关键一步。未来，随着AFM探针国产化的加速推进，有望带动上下游产业链的发展，进一步推动生物研究、半导体工业、材料科学等多个领域的研究与应用迈向新的高度。
素材来源：科技日报
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