预算335万上海交通大学采购感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统

2023年11月25日 10:02:22来源：化工仪器网点击：6495

　　【化工仪器网市场商机】感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统是一种先进的薄膜制备技术。这种系统通过感应耦合等离子体(ICP)的方式产生高密度等离子体，使得含有薄膜组成成分的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料的制备。该系统主要应用于硅、III-V族化合物半导体、聚合物等衬底材料上，实现介质薄膜(包括氧化硅、氮化硅等)和非晶态碳化硅等多种薄膜材料的制备。

　　近日，上海交通大学就“感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统采购项目(项目编号：0773-2341SHHW0110/校内编号：招设2023A00204)”发布招标公告，预算金额为335万元。该招标项目的潜在投标人应在上海市四平路200号盛泰国际大厦606室获取招标文件，并于2023年12月15日 09点30分(北京时间)前递交投标文件。

　　项目基本情况

　　项目编号：0773-2341SHHW0110/校内编号：招设2023A00204

　　项目名称：上海交通大学感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD)

　　预算金额：335.000000 万元(人民币)

　　最高限价(如有)：335.000000 万元(人民币)

　　采购需求：

　　项目概况：该设备通过感应耦合等离子体(ICP)方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。

　　采购需求：

　　设备名称：感应耦合等离子体增强化学气相沉积系统(ICPECVD)

　　数量：1套

　　简要技术参数：2.1 反应腔室：2.1.1 由整块铝锭加工制成、无焊缝、低漏率。侧壁带加热功能。★2.1.2 样品尺寸：最大8英寸直径晶圆、向下兼容更小的晶圆片或不规则碎片；不同尺寸样片之间的切换、无需反应腔室的开腔破真空。其余详见“第八章货物需求一览表及技术规格”

　　设备用途：该设备通过感应耦合等离子体(ICP)方式产生高密度等离子体，在硅及化合物半导体等衬底上沉积高质量的介质薄膜(例如氧化硅SiO2、氮化硅SiNx、氮氧硅SiOxNy等)。

　　交货期：签订合同后11个月内

　　交付地点：上海交通大学用户指定地点

　　合同履行期限：签订合同后11个月内

　　本项目( 不接受 )联合体投标。

　　申请人的资格要求：

　　1.满足《中华人民共和国政府采购法》第二十二条规定；

　　2.落实政府采购政策需满足的资格要求：

　　本项目为机电产品国际招标项目，相关法规与政策均按照《机电产品国际招标投标实施办法(试行)》执行。

　　3.本项目的特定资格要求：1)投标人为制造商时，须提供制造商资格声明函(见格式 IV-9-2)；投标人为代理商时，须提供资格声明函(见格式 IV-9-3)及制造商提供的针对本项目的授权书(见格式 IV-9-4)；2)投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；3)投标人须在投标截止期之前在国家商务部指定的机电产品招标投标电子交易平台(以下简称机电产品交易平台)上完成有效注册；4)不接受联合体投标。

　　获取招标文件

　　时间：2023年11月24日至 2023年12月01日，每天上午9:00至12:30，下午12:30至17:00。(北京时间，法定节假日除外)

　　地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

　　方式：(1)投标人报名时须先登录“上海交通大学数字化采购平台” 供应商注册进行网上注册并实名认证。(2)注册转账之后，请务必发邮件说明。邮件主题包含：投标人名称+项目编号+项目名称，邮件附件包含：网上转账凭证。发送至zjzb2022@126.com。

　　售价：￥500.0 元，本公告包含的招标文件售价总和

　　提交投标文件截止时间、开标时间和地点

　　提交投标文件截止时间：2023年12月15日 09点30分(北京时间)

　　开标时间：2023年12月15日 09点30分(北京时间)

　　地点：上海市四平路200号盛泰国际大厦606室

　　公告期限

　　自本公告发布之日起5个工作日。

关注本网官方微信随时阅读专业资讯

版权与免责声明

凡本网注明“来源：化工仪器网”的所有作品，均为浙江兴旺宝明通网络有限公司-化工仪器网合法拥有版权或有权使用的作品，未经本网授权不得转载、摘编或利用其它方式使用上述作品。已经本网授权使用作品的，应在授权范围内使用，并注明“来源：化工仪器网”。违反上述声明者，本网将追究其相关法律责任。
本网转载并注明自其它来源（非化工仪器网）的作品，目的在于传递更多信息，并不代表本网赞同其观点或和对其真实性负责，不承担此类作品侵权行为的直接责任及连带责任。其他媒体、网站或个人从本网转载时，必须保留本网注明的作品第一来源，并自负版权等法律责任。
如涉及作品内容、版权等问题，请在作品发表之日起一周内与本网联系，否则视为放弃相关权利。