Scios 2 DualBeam聚焦离子束扫描电子显微镜，用于超高分辨率、高质量样品制备和 3D 表征

• 电子束电流范围：1 pA 至 400 nA

• 着陆能量范围：20* eV – 30 keV

• 加速电压范围：200 V – 30 kV

• 最大水平射野宽度：7 mm WD 时为 3.0 mm，60 mm WD 时为 7.0 mm

• 可通过标准导航剪辑提供超宽视野 (1×)

• 加速电压：500 V – 30 kV

• 电子束电流范围：1.5 pA – 65 nA

• 15 位置光阑条

• 漂移抑制模式，为非导电样品的标准模式

• 最小离子源寿命：1,000 小时

• 离子束分辨率：选择角方法下 30kV 时为 3.0 nm

• Trinity 检测系统（镜筒内和色谱柱内）

• T1 分段式下镜筒内检测器

• T2 上镜筒内检测器

• T3 可伸缩色谱柱内检测器（可选配）

• 多达 4 个同时检测的信号

• Everhart-Thornley SE 检测器 (ETD)

• 用于二级离子 (SI) 和二级电子 (SE) 的高性能离子转换和电子检测器 (ICE)（可选配）

• 可伸缩、低电压、高对比度、分段式、固态反向散射电子检测器 (DBS)（可选配）

• 带 BF/DF/HAADF 分段的可伸缩 STEM 3+ 检测器（可选配）

• 查看样品和腔室的 IR 摄像机

• 腔室内 Nav-Cam 样品导航摄像机（可选配）

• 集成的光束电流测量

灵活的 5 轴电动平台：

• XY 范围：110 mm

• Z 范围：65 mm

• 旋转：360°（无限）

• 倾斜范围：-15° 至 +90°

• XY 重复性：3 μm

• 最大样品高度：与共心点间距 85 mm

• 0° 倾斜时的最大样品重量：5 kg （包括样品架）

• 最大样品尺寸：旋转时 110 mm（也可以是更大的样品，但旋转有限）

• 计算中心旋转和倾斜