产品介绍

TLPH系列精密型光电测试探针台是基于TLRH系列升级激光显微镜而来，实现高分辨率成像的同时兼顾外引激光光路，实现光电流与IV的双功能检测，是光电芯片/器件测试的理想之选。

技术优势

.模块化设计，可以搭配不同构件完成不同测试；

. 最大可用于12寸以内样品测试;

.探针台整体位移精度高达3um，样品台精密四维调节；

. 激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；

. 满足1um以上电极/PAD使用;

. 漏电精度可达10pA/100fA（屏蔽箱内）;

. 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计;

. 加宽探针放置架，可放置6个DC探针座/4个RF探针座；

. 配显微镜三维精密调节功能，且可选配多种行程及驱动方式。

模块介绍

通用参数

常规选型

相关配件

多种精度，多种夹具类型探针座

同轴线缆，三同轴线缆

各种类型探针

真空泵

电磁屏蔽箱

应用领域

半导体材料光电检测、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、测量表面电阻率测试、精密仪器生产检测、航空航天实验等。

谱量光电可根据客户实际应用需求，定制配套精密型光电测试探针台，以达更好的测试效果及更高的性价比，具体信息可联系详询。