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900°C小型RTP炉

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  • 型号
  • 品牌 合肥科晶
  • 厂商性质 经销商
  • 所在地 南京市
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更新时间:2021-05-10 11:24:45浏览次数:184

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产品简介

产地类别 国产 应用领域 医疗卫生,化工,生物产业,农业,电子
900°C小型RTP炉 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4“石英管和真空法兰,它是专为半导体和太阳能电池基片(顶值为3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热快速升温的顶值速度为50°C/秒,30段温度控制,精度为+/-1°C,计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线。

详细介绍

设备名称900°C小型RTP炉-OTF-1200X-4-RTP
主要特点

快速升温,最高达50°C/s;快速降温,最大117°C/min

超大管径φ110m

最高温度可达900°C

法兰上安装有滑轨可直接推拉操作

开门断电

基本参数

*最高温度:最高900°C(<10min);800°C(<30min);600°C(长期)

*最快升温速率:室温800°C:50°C/s,800°C-900°C:10°C/s

*最快降温速率:60°C/min(<200 mtoorr),117°C/min(在一个大气压下)

*法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰

*最慢降温速率10°C/min

*加热区长度:190mm

*控温精度:+/-1°C(欧陆表型温控仪表可达0.1°C)

*加热元件:8根红外灯管(每根1.5KW,图1、2、3)

*热电偶:可插入式的铠装热电偶,进口K型热偶,紧贴在放样品的ALn片下

*最大功率:9KW(>60A保险)

*设备电源:AC220V/50HZ 单相

*循环水流量:0.5 m3/h

*标配流量计量程范围:16-160 ml/min

 

尺寸

*760(L)*330(W)*530(H)mm(法兰关闭)

*1200(L)*330(W)*530(H)mm(法兰打开)

*炉膛尺寸:φ180*190

 

重量70KG
认证

所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

保修

一年保修,终身技术支持。

特别提示:1、耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2、因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

国家

名称:一种快速高温退火炉

编号:ZL-2011-2-0077168.4

尊重创新、鄙视抄袭、侵权必究

 

760(L)*330(W)*530(H)mm(法兰关闭)

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