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1200°C三温区三通道混气C
双炉体滑动PECVD系统、循环手套
小型滑动PECVD管式炉系统
双通道ALD管式炉系统
坩埚(样品台)可移动型1200°
带有预热系统的滑动PECVD
4路质子混气管式PECVD系统
三温区1500°C PECVD
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