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BFR5K系列调节阀为半导体加工设计的紧凑的，高流量，用于半导体加工的高性能散装气体调节器.
产品简介
详细介绍
美国派克PARKER调节阀产品概述：
BFR5K系列稳压器是为半导体工艺设计的一款紧凑的，高流量，高性能的气体调节器的设计。BFR5K在流速5000 SLPM这么高的条件下提供了稳定的出口压力。 *的平衡阀芯的设计允许调节保持出口压力设置无论在上游压力的变化。 波纹管316L不锈钢和321不锈钢阀芯。高流量.膜片为增加安全性的提升。平衡阀芯的设计减少了供应压力的影响，能够在很宽的流量范围从100到5000 SLPM操作。半导体体积气体的相容性。在湿润部分没有弹簧。标准全内部电抛光。
美国派克PARKER调节阀规格参数：
- 阀体材料：vericlean 316L不锈钢材质
- 提升阀的材料：vericlean 316L不锈钢材质
- 底座材料:聚三氟氯乙烯
- O型圈材料:氟碳，乙烯-丙烯
- 波纹管材料:合金718（内部材质）321不锈钢（外部材质）
- 盖帽材料:黄铜镀镍
- 流体容量(CV):Cv 4.5
- 内部泄漏率:气密
- 外部泄漏率:外部泄漏率为 1 x 10-9 scc/sec（内侧的试验方法）
- 内部容积（毫升）:71cc无连接
- 重量（磅）:5.7(顶装），7.7（手动）
- 重量（公斤）:2.6(顶装），3.5（手动）
- 大入口压力（PSI):500 psig
- 出口压力:0-60psig,0-100psig,0-150psig,0-200 psig (手动) 0-200 psig (顶装)
- gao工作油温（C):66°C
- gao工作油温（F):150°F
- 低工作油温（C):-40°C
- 小工作温度（F):-40°F
如需了解产品更多信息，请点击：派克PARKER调节阀
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