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详细介绍
安捷伦Agilent 涡轮分子泵 Turbo-V 2K-G 不仅仅是一台泵。它是专门为等离子溅射工艺精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以工作在高氩气氛围下和温度*的环境中。此外，它还拥有内置的控制器件、一体化的放空和充氮气保护阀以及免维护的轴承。所有这些特点使 Agilent Turbo-V 2K-G 成为镀膜工业出色泵解决方案。
安捷伦Agilent 涡轮分子泵 特性：
1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
2、现有的高性能、较紧凑的仪器
3、*个采用*集成的方法大程度提高系统效率和正常运行时间的涡轮分子泵
4、将涡轮分子泵、驱动器件、电源、MoniTorr、吹扫气装置和通信装置集于一身
5、通用电子器件接口并配有操作简单的控制软件模拟 I/O 信号以及 RS232/RS485 接口等标准配置
6、安捷伦 Profibus 接口（可选）
7、采用了安捷伦 A-PLUS 软件（原 T-plus）
涡轮分子泵应用范例：
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用：
| 领域 | 详细说明 | 应用 |
| 质谱和分析仪器 |
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| 科研中的真空应用 |
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| 工业真空加工 |
| 薄膜沉积：
设备加工：
一般工艺：
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| 纳米技术仪器 |
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技术规格：
| 抽速： | N2：1600 L/s | |
| 压缩比： | N2：3 × 105 | |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10-8 mbar | |
| 入口法兰 | ISO 250F | |
| 前级管道法兰 | KF 40 NW | |
| 额定转速 | 33000 rpm | |
| 启动时间 | < 7 分钟 | |
| 推荐的前级泵 | > 40 m3/h | |
| 工作位置 | 任意位置 | |
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +40 ℃ | |
| 电源 输入电压 输入频率 | 100–240 Vac 50-60 Hz | |
| 通讯接口 | 模拟 I/O RS232/RS485 Profibus | 标准 标准 可选 |
| 尺寸 | 高度 | 335 mm（13.18 英寸） |
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