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详细介绍
Agilent Turbo-V 1K-G特性
1、为薄膜沉积应用而专门设计的分子泵解决方案
2、极快的抽速和高气体通量
3、耐用型的设计和高效运行的冷却系统，可实现连续运行
4、能够保护轴承的气体吹扫
5、机架式 Navigator 控制器的样品架类型
6、通用电子器件接口和操作简单的控制软件
7、模拟 I/O 信号和 RS232/RS485 接口（为标准Agilent Profibus 接口选项）
美国Agilent Turbo-V 1K-G进口涡轮分子泵，该装置是专门为薄膜沉积设备精心设计的分子泵系统。其叶片级数和泵的整体结构均经过优化，可以在高流速的氩气氛围下和温度*的环境中工作。另外，可通过远程机架控制器或泵机一体式控制器来驱动泵。所有这些特点使安捷伦 Turbo-V 1K-G 成为了镀膜工业的高真空解决方案。
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
典型涡轮泵应用
| 领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
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科研中的真空应用 |
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工业真空加工 |
| 薄膜沉积：
设备加工：
一般工艺：
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纳米技术仪器 |
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美国Agilent Turbo-V 1K-G进口涡轮分子泵技术规格
| 抽速： ISO 160： ISO 200： |
Ar：1040 L/s |
N2：1080 L/s | He：950 L/s/ He：1150 L/s
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H2：730 L/s
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| 压缩比： | Ar：5 × 108 | N2：5 × 107 | He：4 × 104 | H2 1.5 × 104 |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10-10 mbar | |||
| 入口法兰 | ISO 160F，ISO 200F | |||
| 前级管道法兰 ISO 160： ISO 200： | KF 25 NW KF 40 NW | |||
| 额定转速 | 45500 rpm | |||
| 启动时间 | < 5 分钟 | |||
| 推荐的小前级泵 | > 20 m3/h (TriScroll 600, DS 602) | |||
| 工作位置 | 任意位置 | |||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | |||
| 烘烤温度 | 入口法兰高温度 80 ℃（ISO 法兰） | |||
| 振动参数（位移） | 在入口法兰处小于 0.01 μm | |||
| 冷却要求 | 水 | |||
| 电源 输入电压：100-240 Vac 大运行功率： | < 输入频率：50-60 Hz 使用氮气和轻质气体（水冷设置）时为 400 W 使用氩气（风冷设置）时为 260 W | 大输入功率：600 VA | 待机功率：30 至 35 W | |
| 保险丝（Navigator 控制器） | 1 × 6.3 A | |||
| 串行通信（Navigator 套件） | RS232 电缆，9 针 D 型 | 外插头和 9 针 D 型插口，以及 Navigator 软件（可选） | ||
| 储存温度 | -20 °C 至 +70 °C | |||
| 重量 | 26.8 kg（59.1 磅） |
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