等离子清洗机

V1000/1000X/1000XS等离子清洗机
高频输出100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）,电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高频输出的，搭载 RIE•DP 双模式。
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单"的

V1000/1000X/1000XS等离子清洗机

高频输出100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）,电极尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
13.56MHz 高频输出的等离子清洗机，搭载 RIE·DP 双模式。  
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。  
特征  
●可变更电极构造提高等离子效果。
●搭载高精度适配器，高性能RF 电源。
●可根据需求规格提供定制。  
用途  
●硅晶圆的灰化及蚀刻
●基板表面污垢处理
●IC/LED封装、BGA/CSP基板处理
●半导体相关部品的电子材料的干式清洗
●自然氧化膜·有机物去除
●界面活性处理
●表面污染物去除  
规格  

型号	V1000	V1000X	V1000XS
等离子模式	DP/RIE
高频电源	13.56MHz
输出功率	Max1000W	Max1000 & 1500W
有效电极尺寸	W280×D280mm	W300×D300mm	W400×D375mm
电极	平行平板	2段电极（独立）	平板（多目的）
反应气体	聚合控制器2系统（填充气路另行安装）
真空泵（标配）	约1000L/min	约1500L/min	1000 & 1500L/min
安全装置	门检测开关、联锁机构、紧急停止开关、温度过升防止器等