小型等离子装置

PiPi小型等离子装置介绍

高频输出 200W,反应腔 W130×D130mm。

经济型、适合于研究开发用小型等离子清洗机。  

特点  

● 经济型等离子清洗机

● 简单的等离子处理操作

● 等离子模式为RIE模式  

用途  

● 去除有机物

● 树脂/膜等表面改质

● 改善粘接效果

● 提高亲水性

● 去除金属氧化物

● 蚀刻  

等离子为气体发生电离状态，形成带有正电的离子及带有负电的电子状态。等离子为带有高能量、反应性非常高的状态，其容易与物质表面进行反应的特性被广泛使用。  

等离子RIE（Reactive Ion Etching 方式）

RIE是去除物体表面的有机物污垢，同时去除无机物的合适的清洗方式。

RIE方式为加速离子层中的阳离子，冲击污染表面的物理性清洗方式。

PiPi小型等离子装置规格