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上海昊量光电设备有限公司>>专用实验设备>>光刻机>> SMART PRINT UVDMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机

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  • 型号 SMART PRINT UV
  • 品牌 其他品牌
  • 厂商性质 代理商
  • 所在地 上海市
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更新时间:2021/06/23 09:29:56浏览次数:2008

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产品简介

产地类别 进口 应用领域 电子
主要特性 兼容i、h、g线光刻胶
DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。

详细介绍

DMD无掩膜光刻机

DMD无掩膜光刻机SMART PRINT UV是一种基于DMD投影技术的无掩模光刻设备,可兼容多种电阻和基片。SMART PRINT UV可以生产任何微米分辨率的二维形状,而不需要硬掩模。基于改进后的标准投影技术,投影出具有微米分辨率的图像,无掩膜光刻机SmartPrint无需任何进一步步骤,就能直接从数字掩模光刻出您要的图。无掩膜光刻机SmartPrint主要应用是微流体,生物技术和微电子等领域光刻表面微纳图案。

 

DMD无掩膜光刻机主要特性:

兼容i、h、g线光刻胶

SmartPrint-UV配备了385 nm LED源,以兼容标准i, h和g线光刻胶,如SU8或AZ®1500系列

 

适用于各种各样的基材

我们的物镜范围经过精心选择,具有较长的工作距离(高达3厘米),使SP-UV成为一种非接触式技术,因此兼容非标准基材(非平的,灵活的,厚的)。

 

可调直写范围和分辨率——用户可获得四种不同的直写分辨率      

 优直写分辨率1.5um                                                                     

                                     

 

兼容任何尺寸的样品,最大5平方英寸                                         

对齐方式直观——反馈相机与第二束590nm准直光源叠加使用

                       

 

体积小,性价比高

 

DMD无掩膜光刻机应用领域:

               

 光器件         微流控         微电子

 

DMD无掩膜光刻机指标参数:

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