产地类别 | 进口 | 应用领域 | 医疗卫生,化工,生物产业,电子 |
---|
产品分类品牌分类
-
热导率测试仪 荧光寿命成像 数据采集系统 纳米孔读取器 3D超分辨率单分子定位显微镜模块(无需扫描) 圆二色谱仪 核磁共振波谱仪 测试台 波导 光电测试系统 斩波器 高分辨率光谱仪 高光谱成像系统 光泵磁力仪 波形发生器 光刻机 激光雷达 超声源 轮廓仪 纳米压痕仪 阴极发光 异步光学采样系统 脉冲选择器 显微镜 检漏仪 振荡器 传感器 水听器 高速控制器 实验系统 磁光阱 中空回射器 超稳腔 辐射计 显微成像系统 星模拟器 人工智能机器视觉识别软件 光纤耦合二极管 普克尔盒 纠缠光子源 测振仪 振动分析仪 相位延迟器 电磁干扰测试仪 示波器 铌酸锂调制器 DLP光学投影模组 无序抓取解决方案 声光移频器 显微镜载物台 光片扫描仪 单色仪 膨胀计 超短脉冲脉宽压缩器 再生放大器专用调制及控制模块 原子力显微镜 显微镜成像组件 磁力计 变形镜 光频梳 数字源表 分析仪 定位/扫描台 滤波器 椭偏仪 自相关仪 射频收发器 高频激振器 电子多路复用器 频率合成器 频率计数器 位移测量仪 光电探测器 信号发生器 X射线产品 高精度时间间隔与频率计数器 CVD制备设备 二硫化钼CVD制备设备 太赫兹偏振片 平衡探测器 太赫兹波片 高莱盒 太赫兹反射镜 太赫兹透镜 探针台 电池测试设备 多电极阵列 飞秒脉冲重复频率锁定-光锁相环 平衡光学互相关器TCBOC 时间分配和同步系统TDS 太赫兹探测器 单板控制器 色度计 单模光纤 太赫兹时域光谱仪 太赫兹系统 全息光镊系统 活细胞定量仪器 阻抗分析仪 多光谱固定翼无人机整体方案 无人机多光谱解决方案 农业专业无人机解决方案 铌酸锂电光相位调制器 电光调制器 整形器 压印机 空间光调制器 高频振动测试仪 低温制冷/恒温设备 鉴相器 磁学测量
产品简介
详细介绍
滑动式二硫化钼CVD制备设备
一、 概述
硫粉预热器采用管内测控温以保证在250℃以下,稳定控制硫蒸汽的蒸发时机和蒸发温度。真空机组装有真空粉尘过滤器以保护机械式真空泵不被硫粉尘损坏。采用耐腐蚀电阻电容复合真空计(在1000Pa以上测量不受气体种类影响,耐硫蒸气腐蚀),通过调节真空蝶阀的开启程度调节炉管内压力稳定,在1200℃以下的工艺温度稳定气相沉积二硫化钼等二维化合物材料。
二、 设备组成
HCVD-1200S双温区管式炉,HTF400C硫粉预热器(双温区管式炉与预热器可滑动),质量流量计供气系统,机械式真空泵等组成。
三、 主要技术参数
硫粉预热器
型号:HTF-400C
工作温度:350℃
MAX温度:400℃
MAX升温速率:30℃/min
推荐升温速率:10℃/min
控温方式:智能化30段可编程控制
工作电压:AC220 V额定功率:800W
控温精度:±1℃
加热元件:电阻丝
双温区硫化炉
型号:HCVD-1200S
技术参数:额定功率(KW):3
额定电压(V):AC220v 50/60 Hz
MAX温度(℃):1200(1 hour)
持续工作温度(℃):1100
升温速率(℃/min):≤50
炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1500mm
加热区长度(mm):440mm
恒温区长度(mm):200mm
控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制,具有超温和断偶报警功能
控温精度(℃):±1
加热元件:电阻丝
供气系统GMF3Z
质量流量计重量:35Kg
外形尺寸:600x600x650mm
连接头类型:双卡套不锈钢接头
标准量程(N2标定):50sccm、200sccm、500sccm; (可根据用户要求定制)
准确度:±1.5%线性:±0.5~1.5%重复精度:±0.2%
响应时间:气特性:1~4 Sec,电特性:10 Sec
工作压差范围:0.1~0.5 MPa MAX压力:3MPa
接口:Φ6,1/4''
显示:4位数字显示
工作环境温度:5~45℃
内外双抛不锈钢管:Φ6
压力真空表:-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀:Φ6
低真空机组VAU-02
技术参数:
空气相对湿度≤85%
工作电电压:220V±10% 50~60HZ
功率:1千瓦
抽气速率:4Ls
极限真空:4X10-2Pa
实验真空度:1.0X10-1Pa
容油量:1.1L
进气口口径:KF25
排气口口径:KF25
转速:1450rpm
噪音:50dB
外型尺寸:450×180×240mm
配真空粉尘过滤器,DN25手动蝶阀用于控制炉管内压力,INFICON PCG554复合真空计